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电子探针x射线显微分析 授课
一、引言;一、引言;一、引言;一、引言;一、引言(EPMA、SEM区别) ;一、引言(EPMA/SEM-EDS的特点) ;一、引言(EPMA分析特点) ;一、引言(EPMA分析特点) ;一、引言(EPMA分析特点) ;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;二、 电子探针X射线显微分析的分类及原理;三、 电子探针X射线显微仪器的组成;3.1、波谱仪(WDS)的结构和工作原理;3.1.1、波谱仪 ;3.1.2 波谱仪WDS工作原理;;;3.1.3 回转式波谱仪和直进式波谱仪;;3.1.7 波谱仪的特点;波谱仪的特点:;3.1.8 波长色散谱 ;3.2、能谱仪 ;;3.2.1 能谱仪的工作原理;3.2.2 Si(Li)能谱仪的优点: ;3.2.3 能谱仪的缺点: ;3.2.4 能谱图;不同样品, 同一能量电子束;同一样品, 不同能量电子束;样品面倾斜效应- 边缘效应;3.3 波谱仪和能谱仪的比较 ;波谱仪和能谱仪的比较;波谱仪和能谱仪的比较;四、电子探针仪的分析方法及应用;4.1 电子探针仪的分析方法;4.2 试样制备 ;4.3 能谱定性分析;4.4能谱定量分析;(1) 定点定性分析;(2) 线扫描分折 ;(2) 线扫描分折; (2) 线扫描分折;(3) 面扫描分析; (3) 面扫描分析; (3) 面扫描分析;4.5.电子探针仪的应用
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