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设备1多功能扫描探针显微镜数量1台
设备一:多功能扫描探针显微镜 数量:一台
1、主要技术指标要求
1.1* 分辨率:
扫描器分辨率:XY:0.nm,Z0.1 ?;
对云母样品进行5-10nm范围的扫描成像,测量图像中相邻云母原子的间距值,以此间距值来表征仪器的XY方向分辨率:0.50-0.55nm;
对石墨样品进行3-10nm范围的扫描成像,测量图像中相邻石墨原子的间距值,以此值来表征仪器的XY方向分辨率:0.25-0.30nm;
1.2 *整机噪音:≤ 0.2?.3 *必须为探针扫描成像设计;
1.4 测量模式:
成像模式:接触模式轻敲模式定量相位成像模式横向力显微镜
静电力显微镜
调频表面电势测量模式
调幅表面电势测量模式
磁力显微镜
液体环境工作模式
液体环境
Q-Control控制技术
高次谐波成像模式
纳米刻蚀及纳米操纵
表面杨氏模式成像模式
(2)非成像模式:、力谱线自定义测量、
(3)其他:环境控制成像、溶液成像
多用途扫描器:()低干涉小范围扫描器:噪声水平: XY1? RMS,Z向1? RMS
成像范围:XY向9um*9um,Z 向2um;
(3)悬臂噪音水平: 0.2 ? RMS
(4)扫描器精度: ± 0.5%
(5)扫描控制:XY方向:24位控制, Z方向:24位控制
环境控制系统:
上部扫描成像(Top-down Scan)且用密封条将扫描硬件部分与成像环境隔开;
气氛控制:可以通入任何样品和探针能承受的气体
(3)*可通入湿度:相对湿度 2%-98%
(4)液相控制:可进行溶液下成像,不漏液7 纳米力学测量:;
实现机械刻蚀,化学刻蚀,电学刻蚀等功能,同时实现纳米操纵.8样品台:
(2)可以垂直放入各种高度超过50mm的柱状样品;
(3)可以直接放入各种长度超过50mm的条状样品;
(4)可以直接放入培养皿进行溶液成像
(5)*透光样品可以从下部和上部进行光照射,便于样品定位;
1.9内置三锁相快扫描功能的控制器*(1扫描速度:0.1~100Hz;
()数据采集: 从256×256到8×8096
(4)测量数据通道:32通道;*()独立设置的内置的三锁相通道,频率到 6MHz0.009Hz
*(7)输出带宽:80Hz,100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz,5kHz, 10kHz, 20kHz
(8)振幅驱动控制: 16-bit, 0.3mV的分辨率
(9) 12-bit, 0.088 degrees的分辨率
()针尖自动逼近样品,三个马达控制逼近过程,同时这三个马达可分别手调
1.11 其它:
防震抗噪装置:垂直抗震小于1Hz
(2)光学显微镜:分辨率优于1.5μm,带有CCD,LCD端放大倍数高于450倍
(3)随机提供专业后处理软件设备主要配置及附属设备
主要配置环境控制声学驱动敲击模式控制器1套内置Q-control电脑及专业处理软件附属设备
防震抗噪装置1套仪器安装启动包1
设备二:扫描电镜 数量:一台
1、安装条件
1.1电源电压220V(±10%),50Hz
1.2独立地线接地电阻>40欧姆
1.3实验室温度15~30℃,湿度≤70%。
2、技术要求
*2.1 SE探头分辨率:3.0nm @ 30KV
7.0nm @ 3KV
*2.2 BSE探头分辨率:4.0nm @ 30KV
10.0nm @ 5KV
2.3 放大倍数:最低倍率≤5倍,最高倍率≥300,000
2.4 真空系统
*2.4.1 具有高低真空功能。
且高低真空转换软件一键切换,无需手动安装压差光阑
*2.4.2真空度:高真空:不低于0.1mPa
低真空空气浓度不小于600Pa
2.4.3 真空泵泵系统 涡轮分子泵和机械泵各1台
2.4.4 真空系统阀门:气动阀,配有空压机
2.5 电子光学系统
*2.5.1 电子枪:具有6级自动偏压功能
*2.5.2 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内,用户可自行更换聚光镜光阑。
2.5.3灯丝饱和自动调节,具有高中低三个档位
2.5.4 灯丝:预对中灯丝
*2.5.5 物镜光阑:4孔可动式物镜光阑
2.6 样品室和样品台
2.6.1 样品台尺寸:装载直径≥200mm样品
*2.6.2 4轴马达驱动样品台,具有彩色外界图片导航功能
2.6.3 行程:四轴为X=55mm ;Y=55mm ; Z=50mm;手动T轴
*2.6.4 非接触报警装置:通过
设备三:电化学分析仪 数量:一台
仪器技术要求:
运行环境
环境温度:4°C~55°C;
相对湿度: 95%;
工作电压:100 ~ 240V,47 ~ 63Hz AC,200W。
技术参数
恒电位/恒电流仪
2.1.1 最大输出电流:±A
*2.1.2 最大输出电压:±V
2.1.3 电位扫描范围:±10V
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