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三氯氢硅智能工艺设计及副产物四氯化硅利用
程惠亭
华陆工程科技有限责任公司
全国化工化学工程设计技术中心站
《化学工程》编辑部
三氯氢硅智能工艺设计及副产物四氯化硅利用1
1．四氯化硅应用 1
1.1 多晶硅生产自消耗1
1.2 其它应用途径 1
1.3 下游产品2
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