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2018-05-24 发布于天津
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探针显微设备

儀器特性分類設備名稱設備簡介/功能設備應用設備存放地點掃瞄探針顯微鏡--SPM 可針對8吋晶圓以下的試片進行探針 IC元件檢測、MEMS元件檢測、工研院探 (AFM 、STM 、MFM) 掃瞄顯微量測，依不同的探針使用可微結構檢測、奈米元件檢測及中興院區針進行多種物理特性的量測光碟片母模檢測等。顯微設備真空控溫型掃描探針顯微鏡--SPM 可改變試片的環境條件，真空至10^- 應用為奈米結構檢測、奈米元工研院 (AFM 、STM 、MFM) 6 torr ，溫度範圍-120℃至400℃(加熱件檢測、光碟片母模檢測、IC 中興院區最高可至800℃) 。僅限於2.5cm x 1 元件檢測、薄膜材料微區特性 cm試片。依不同的探針使用可進行檢測等。多種物理特性的量測定量力學及快速掃描探針顯微鏡本儀器是New generation AFM作用力奈米級檢測材料表面形貌、力工研院 Q-SPM 50 pN ，接觸面積遠小於傳統AFM ，學、電性、磁性、功函數…等基中興院區不會刮傷樣品(適用於軟物質) 、液態礎物理特性。 FS-SPM 中可以穩定掃描、可整合光學系統 (Raman ，螢光…) 、電極表面電位量測、奈米定量力學及電學特性量測、高速掃描功能掃描式近場光學顯微鏡本儀器是具有近場光學、共焦及原子應用為微電子元件檢測、半導工研院 (SNOM) 力等三種功能合一的顯微鏡，可針對體檢測、生物、醫學等材料檢中興院區 3.5英吋以下之試片進行近場光學影測。像檢測以及表面形貌量測聯絡電話 03-5916908 1 2 回列表頁 3 回列表頁 4 回列表頁 5 回列表頁 6 回列表頁