Unit 5 电介质材料（压电和铁电材料） 电子器件与 及工艺课件.ppt

第五章 压电和铁电材料;5.1 压电材料;在讨论介电性质时，绝缘体就称为电介质。 极化现象：当电介质放入电场中时，电荷不能象金属中的自由电子那样自由运动，但是电荷质点在电场作用下发生相对位移，正电荷沿电场作用方向稍微位移，负电荷向反方向位移，形成许多电偶极子，即发生极化。;石英压电效应的机理;根据几何结晶学，在32种点群中，只有21种不具有对称中心的晶族，其中点群（43）压电常数为0，剩余20种具有压电性。而其中只有10种具有唯一极性轴（电偶极距）的晶体具有热释电效应。而其中极化方向可以随外电场转动的称为铁电体。 ; 陶瓷是由许多小晶粒构成的多晶体。这些小晶粒通常是无规则地排列，使陶瓷为各向同性材料，一般不显示压电效应。但经电场作用后的铁电陶瓷可以具有压电性，构成铁电陶瓷的晶体结构不具有对称中心。存在着与其它晶轴不同的极化轴，正负电荷中心不重合，有自发极化P存在。这一极化强度可以随外电场转向，在外电场去除之后，还能保持着一定剩余极化。利用铁电材料晶体结构中这种特性，可以对烧结后的铁电陶瓷在一定条件下用强直流电场处理，使之在沿电场方向显示出一定的净极化强度，这一过程称为人工极化过程。经过这种极化处理后，烧结的铁电陶瓷将由各向同性变成各向异性，并因此具有压电效应。;压电陶瓷： 压电陶瓷的压电效应机理与石英晶体大不相同，未经极化处理的压电陶瓷材料是不会产生压电效应的。经极化处理后，剩余极化强度会使与极化方向垂直的两端出现束缚电荷，由于这些束缚电荷的作用在陶瓷的两个表面吸附一层来自外界的自由电荷，并使整个压电陶瓷片呈电中性。当对其施加一个与极化方向平行或垂直的外压力，压电陶瓷片将会产生形变，片内束缚电荷层的间距变小，而使表面的自由电荷过剩出现放电现象。当所受到的外力是拉力时，将会出现充电现象。;压电材料主要工程参数;;;;;压电陶瓷材料; 钛酸钡(BaTiO3)的晶体属钙钛矿型(CaTiO3)结构。BaTiO3晶体中的氧形成氧八面体、钛位于氧八面体的中心，钡则处于八个八面体的间隙。在室温，BaTiO3是属四方晶系的铁电体。在120度温度以上，四方相转为立方相，属顺电相。在0度附近，四方相转为正交晶系，仍具有铁电性。钛酸钡具有较好的压电性，是在锆钛酸铅陶瓷出现之前，广泛应用的压电材料。但是，钛酸钡的居里点不高(120度)、限制了器件的工作温度范围。它还存在第二相变点(0度)，相变时压电、介电性显著改变。 为了扩大钛酸钡压电陶瓷的使用温度范围，并使它在工作温度范围内不存在相变点，出现了以BaTiO3为基的BaTiO3-CaTiO3系和BaTiO3-PbTiO3系陶瓷。BaTiO3中加入CaTiO3，第二相变点明显向低温移动，但对居里点的影响不大, PbTiO3加入BaTiO3中，可以使陶瓷的居里温度移向高温。;锆钛酸铅系(PZT)陶瓷, 其化学式为Pb(Zrx, Ti1-x)O3, 是钙钛矿结构的二元系固溶体，晶胞中B位置可以是Zr4+, 也可以是Ti4+。居里点随锆钛比变化。根据器件的要求，可以选择不同的锆钛比。 然而，锆钛酸铅系陶瓷在制备和使用过程中，都会给环境和人类健康带来很大的损害。近年来，随着环境保护和人类社会可持续发展的需求，研发新型环境友好的压电陶瓷已成为世界各国致力研发的热点材料之一。2001年欧州议会通过了关于电器和电子设备中限制有害物质的法令，并定于2008年实施。其中在被限制使用的物质中就包括含铅的压电器件。为此，欧洲共同体立项151万欧元进行关于无铅压电陶瓷的研究与开发。美国和日本以及我国电子信息产业部也相继通过了类似的法令，并逐年提高对研制无铅压电陶瓷项目的支持力度。对新型无铅压电陶瓷的研究和开发也同样受到了国内科技界与企业界的普遍关注。; 任晓兵博士(日本物质材料研究所主任研究员)在世界上首次发现基于全新原理的巨大电致变形效应（即电场诱发的形变），同时研究出对环境无污染的无铅压电材料。这一成果于2004年2月2日在《Nature Materials》上发表，并于1月12日提前在其电子版公布。 　　压电材料在施加电场时产生变形，在施加压力时产生电压，利用这种效应可制作电能与机械能互换的驱动器，在众多领域有广泛的应用。压电材料晶体结构中正负离子中心不重合，施加电压时，离子产生微小位移从而使晶体发生伸缩变形，通常，但这种电致变形很小(200V/mm的电场下最多只有0.02%左右)。另外，目前广泛使用的锆钛酸铅(PZT)压电材料，由于含有有毒的铅物质，其使用已受到越来越多的限制。　　; 任晓兵博士在其论文中提出一种不同于上述机制的全新原理，该原理利用铁电体在90度畴翻转时产生巨大变形这一特性，并利用时效点缺陷的对称性性质而产生可回复的应变(该性质亦为任晓兵