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Scanning Electron Microscopy
A. Danilewsky
• Energy Dispersive X-Ray Analysis EDX
• Electron Back Scatter Diffraction EBSD
Depth of Signals
Sample surface
Auger - elektrons
Secondary electrons SE
Back scatter electrons BSE
X – rays:
- Characteristic X - rays
- Continuum X- rays
Topographic contrast
Electron beam
Electron beam
Many
secondary
electrons
leave the
Few
sample
secondary
electrons
leave the
sample
Characteristic X - Rays
keV
k : L →K
α1 III
k : L →K
α2 II
k : M →K
β III
Relative Intensity of Characteristic X - Rays
L shell consists of 3 subshells with quantum numbers n, l, j and spin m:
l : 2s – orbital n = 2, l = 0, j = ½, m = ± ½ max. 2 electrons
I
= forbidden transition
lII : 2p –
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