TP作业.doc

编制/日期：2011-3-3 审核/日期： 批准/日期： 目的 1.1规范Tempress扩散设备的操作。 适用范围 2.1适用于无锡佳诚太阳能有限公司电池车间5-8线扩散工序。 引用文件 3.1 Technical references manual. 3.2 Furnace reference manual. 3.3 Tempress OEM manuial. 3.4 R2D reference manual. 3.5 Safety and responsibility 职责 4.1设备部负责该文件的制定和执行情况的监督。 4.2 生产部负责该文件的执行。 术语 5.1 DPC: Digital process controller。 5.2 DTC: Digital temperature controller。 5.3 DMC: Digital motor controller。 5.4 ETC: Excess tempress controller。 5.5 profile tc: 内部控温热电偶。 5.6 spike tc: 外部控温热电偶 5.7 gas canbinet: 气柜 5.8 R2D: 指自动上下料系统。 5.9 furnace： 指加热的炉管部分 5.10 touchscreen: 触摸显示屏 内容 Tempress设备机台介绍 此图为本公司现在采用的系统。 本系统主要分四个部分： （1）POWER CANBINET （2）LOAD STATION （3）FURNACE STATION （4）GAS CANBINET 以下是DTC的内部板卡结构：主要是用于温度控制，服务于Furnace station。 以下是DPC内部板卡结构：此为整个系统控制的核心部分DTC,DMC,ETC属于其控制,服务于整个系统。 以下是DMC：主要用于控制load station中的伺服电机。 以下为ETC，主要用于超温报警。 以下是本系统的气路控制部分，服务于Gas canbinet。 6.1：开机前准备工作 检查热排/酸排是否正常； Cooling water=0.5MPa； CDA=80PSI； N2=40PSI； O2=25PSI； 6.1.1 进出水压力显示表，前后各一个 6.1.2 N2，O2进气压力显示表 酸排压力显示表 6.1.4 压缩空气进气压力显示表 6.2 开机程序 6.2.1 开机前确认N2，O2,CDA,冷却水回/进水阀门,检查热排/酸排等其他外围参数.，如以上图所示。 6.2.2 依次打开下图所示总电源及“start”按钮。 6.2.3 依次将CONTROL电源，Tube(1-4)的加热电源打开,打开POCL3的出/进气阀。 6.2.4查看POCL3的出/进气阀。 6.2.5 CONTROL电源打开后，触摸屏上显示左图所示“MAIN MENU”界面。 6.2.6选择“Tube Control”,进入下图所示界面。 6.2.7选择“Select a Process Recipe(6)”,进入下一级界面，选择一种工艺号作为所要运行的工艺，选完后点击“RETURN此时光标出现在“SELECT PROCESS RECIPE”一行，点击“YES”，界面返回到上图所示界面中。 6.2.8 等待机台升温到800℃时,将插好的石英舟放在shuttle上,选择炉管号,GO。 机台即开始运行工艺。 6.3 关机程序 6.3.1 设置炉体温度至100度以下。 6.3.2 进入屏幕主菜单，选择Certification 2。 6.3.3 进入二级菜单后，选择Temperature Controller Certification 2 6.3.4 进入三级菜单后，选择Normal Temperature Table 2 选择相应的Receipt， 设定1至5区的温度为0 6.3.6 等待炉体温度降至100度以下,把加热开关关闭;关闭CONTROL;关闭总电源。 6.3.7 关闭机器上的所有手动阀 6.3.8 关闭所有外围供给. 此部分需通知设施部门与生产部门 所有压力值为0 6.4 注意事项 6.4.1 绝对禁止操作人员修改任何机台参数。 6.4.2 操作人员必须双手戴好手套，手套破损时应立即更换。 6.4.3 操作人员应注意操作安全，禁止