可逆电双稳薄膜器件以及“动态”分子整流器件的分析-analysis of reversible electrically bistable thin film devices and.docxVIP

夕 互 大 学 溥 士 笋 世 老 戈J8.4 结 论 与 展 望 …“二””.”..……““....……“.”二”二“……“……”·……”“”·······……“·“·….10 5缴献 . . . . . . ” . “ . . . . ”. . . ” . . . . . “ . “ . . “ “. ” . . . . . “ . . . . . “ . . . ” . 二 . . . . . . . . ” . . O . . . “ . . O . “ .1旧 0一7夕 互 丈 学 溥 全 笋 世 了甘丈摘 要本 论 文 由两 部 分 组 成 ， 以第 一 部 分 为 主 体 内 容 。第 一 部 分 可 逆 电双 稳 薄 膜 器 件 的研 究为 克 服 传 统 硅 集 成 电 路 发 展 面 临 的 极 限 尺 寸 效 应 并 满 足 电 子 产 品 庞 大 的 消 费 需 求 ， 开 发 结 构 简 单 的 “电极 / 功 能 层 / 电 极 ”夹 层 薄 膜 可 逆 电 双 稳 存 储 器 成 为 科 学 界 研 究 的 重 要 课 题 。从 功 能 层 材 料 划 分 ，可 将 电双 稳 器 件 分 为 无 机 和 有 机 两 种 器 件 。无 机 器 件 具 有 存 储 性 能 稳 定 的 优 点 ，但 其 复 杂 的 制 备 工 艺 和 较 高 的 制 造 成 本 限 制 了无 机 器 件 的 推 广 和 应 用 。而 到 目前 为 止 ，对 无 机 器 件 的 研 究 集 中 于 对 己开 发 材 料 器 件 的 性 能 和 机 理 研 究 ，较 少 从 简 化 薄 膜 的 制 备 工 艺 出 发 进 行 新 材 料 和 器 件 的 探 索 。研 发 能 用 简 单 工 艺 制 备 、具 有 稳 定 存 储 性 能 的 新 型 无 机 可 逆 电双 稳 薄 膜 将 对 简 化 器 件 制 备 、降低 成 本 、实 现 无 机 电双 稳 存 储 器 的 商 品 化 具 有 重 要 的 意 义 。 另 一 方 面 ， 有 机 薄 膜 存 储 器 具 有 制 备 方 法 简 单 、 成 本 低 、 可 折 叠 、 质 量 轻 等 优 点 ，并 能 实 现 多 重 态 电存 储 功 能 ，所 以对 新 型 有 机 薄 膜 电存 储 器 的 开 发 也 是 电 子 器 件 领 域 研 究 的 重 点 。本 文 中 ，我 们 开 发 出 一 种 基 于 界 面 化 学 反 应 制 备 无 机 电存 储 薄 膜 的 方 法 ，实 现 了无 机 功 能 薄 膜 的 简 单 制 备 ，并 获 得 了 两 种 性 能 稳 定 的 新 型 无 机 可 逆 电双 稳 薄 膜 器 件 。 首 先 通 过 简 单 的 真 空 热 蒸 镀 法 利 用 金 属 与 无 机 前 驱 物 的 固 一固 界 面 反 应 制 备 无 机 薄 膜 ，研 究 发 现 以 该 无 机 复 合 薄 膜 为 介 质 层 的 夹 层 器 件 具 有 较 稳 定 的 可 逆 电双 稳 特 性 ; 在 此 基 础 上 ，使 用 更 简 单 的 水 溶 液 浸 泡 方 法 ，利 用 金 属 、无 机 物 间 的 固 一液 界 面 反 应 制 备 无 机 薄 膜 ， 获 得 了性 能 更 优 、 能 反 复 擦 写 上 千 次 而 保 持 状 态 稳 定 、具 有 较 好 应 用 潜 力 的 无 机 电存 储 器 件 。我 们 采 用 多 种 表 征 手 段 对 所 获 得 的 无 机 薄 膜 进 行 分 析 ，并 提 出 了形 成 无 机 功 能 薄 膜 的 反 应 机 制 ; 重 点 研 究 了薄 膜 器 件 的 开 关 机 理 和 电存 储 性 能 。此 外 ，我 们 研 究 了 基 于 M C 分 子 的 有 机 薄 膜 器 件 的 开 关 及 电 存 储 特 性 ，重 点 分 析 包 括 电 极 以 及 有 机 层 厚 度 等 工 艺 参 数 对 器 件 性 能 的 影 响 。本 部 分 的 具 体 内 容 可 概 括 为 :1、通 过 真 空 热 蒸 镀 法 ，利 用 A g 与 K S C N 的 固 一固 界 面 反 应 在 A g 薄 膜 上 原 位 生 长 A gK Z(Sc N) 3复 合 薄 膜 ， 实 现 了无 机 可 逆 电双 稳 薄 膜 的 简 单 制 备 。 利 用 可 见 光 谱 、 拉 曼 光 谱 、 X 一射 线 多 晶 衍 射 谱 ， X 一射 线 光 电 子 能 谱 等 表 征 手 段 对 薄 膜 进 行 分 析 ，并 提 出 了A g 服 s C N 界 面 反 应 形