真空泵与阀门.doc

真空泵： 概要： 真空泵是获得真空的设备，根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。表1.对常用真空泵进行了分类归纳。 表1.常用真空泵的分类： 分类 极限真空 应用 真 空 泵 气 体 移 动 式 位 移 式 卷泵（Scroll pump） 7.5×10-3Torr CD-SEM 油回转泵（Oil sealed rotary pump） 7.5×10-5Torr II/SP 罗茨泵（roots blower, roots pump） 5×10-5Torr II/SP/Dry/CVD 水环泵 (water ring pu