考虑漏电场的扭转式微执行器pull-torsion microactuator pul considering leakage field.docxVIP

南京邮电大学硕士研究生学位论文 摘要摘要微型化始终是当代科学技术发展的重要方向。随着微电子技术的发展，基于 MEMS（微 机械系统）技术的微传感器、微执行器得到了快速发展，在其各种驱动方式中，静电驱动 占有重要地位，因此对静电微执行器的研究是非常必要的。在静电微执行器中，存在做快 速吸合现象，也被称为 pull-in 失稳现象，它是静电微执行器的一个重要特征。现今国内外 对于静电微执行器 pull-in 失稳问题的研究非常多，但考虑静电微执行器边缘效应的研究还 是微乎其微。由于微型化器件灵敏度的增大，所以获得精确的 pull-in 点的相关参数都是非 常必要的。本文在分析了国内外相关研究工作的基础上，基于能量法进行分析扭转式静电微执行 器的 pull-in 失稳现象，把扭转式静电微执行器的边缘漏电场考虑到模型中去，建立更符合 实际的物理模型，通过与 ANSYS 软件实际仿真结果相比较，论证了建立模型的准确性。 本文首先通过求解忽略微执行器边缘电场效应的 pull-in 失稳参数，介绍了微执行器的pull-in 机理，并重点分析了扭转式微执行器电极相对于极板的位置不同而对微执行器 pull-in 参数的影响和控制。然后介绍了漏电场对微执行器 pull-in 参数的影响，建立相关的 漏电场的模型，在考虑漏电场的情况下，得出了 pull-in 现象的相关数据。通过实例分析， 分别考察了扭转式微执行器的各项参数的变化对于 pull-in 电压和 pull-in 点的影响。最后通 过 ANSYS 有限元分析软件建立出扭转式静电微执行器结构，考虑了上下极板之间的边缘 效应进行求解，得出实际数据，通过与模型求解的数据相比较分析，说明了模型的精确性， 并给出模型的适用范围。关键词：微机电系统，扭转式微执行器，静态 pull-in 现象，边缘电场效应，有限元分析IAbstractMiniaturization has always been the important direction in the development of modern science and technology currently. With the development of microelectronics technology, micro-actuators are growing rapidly based on the micro-sensors of MEMS (micro-electromechanical system) technology. Among their various actuation methods, electrostatic actuation is the most important method and therefore it is necessary to study the electrostatic micro-actuators. In the process of studying electrostatic micro-actuators, there is a quick pull-in phenomenon, which is also known as pull-in instability phenomenon, and which is an important feature of the electrostatic micro-actuators. Presently, many people at home and abroad are studying the pull-in instability problem of electrostatic micro-actuators, but the study of taking into account the fringing field effect of electrostatic micro-actuators can be negligible. As the sensitivity of miniaturizational devices increases, it is very necessary to obtain accurate data of pull-in points.Based on the analysis of the research work at home and abroad, this paper presents the analysis of the pull-in instability phenomena of electrostatic micro-actuator in the