微电子学发展(2008讲稿)_459605272.pdfVIP

微电子学发展 微电子学研究所 李志坚 许军 junxu@tsinghua.edu.cn 2008-10-14 2008-10-6 1 微电子学发展 （一）微电子学简介 （二）微电子技术的当前发展方向 （三）21世纪微电子向纳电子发展 (四) 中国: 挑战与机遇 (五) 结束语 2008-10-6 2 （一）微电子学简介 （1）什么是微电子学 微电子学是研究微尺度下 对固体中电子运动的控制，以 实现对电磁信号和信息进行高 速处理的高度集成化的电子科 学。