第三章电容传感器 模拟电子 传感器技术知识 .pptVIP

第三章 电容式传感器;电容式传感器是把被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容量变化的一种传感器。实际上，它本身（或是和被测物）就是一个可变电容器。;一、基本原理;S;δ0;S;（1）灵敏度与S、 ε成正比； （2）δ0越小， 越大，但可能击穿，测量范围小； （3） 可以很大，实现纳米测量。;特点：;实际应用中，为了提高传感器的灵敏度、增大线性工作范围和克服外界条件（如电源电压、环境温度等）的变化对测量精度的影响，常常采用差动型电容式传感器。;S1;※平面线位移型电容传感器的特性;※角位移型电容传感器的特性;2)圆筒形结构电容器;电容量; 线性好； 测量范围大； 灵敏度S是常数，但灵敏度较低； 可测角位移。;ε1;ε;ε;存在介质时，C=C1+C2 （并联）;若电介质1为空气,当l=0时传感器的初始电容;下图为非导电散材物料的物位测量，将电容器极板插入被监测的介质中，随着灌装量的增加，极板覆盖面增大，测出电容量即反映灌装高度l;变介电常数型电容传感器;变ε型电容传感器特点：;极板间静引力小，所需输入能量也低，可以实现nm级测量;（3）存在边缘效应。;等位环减小边缘效应;如何减小寄生电容的影响？;6.采用驱动电缆技术 ;放大电路;§2 转换电路;二、电桥电路;C2;运算放大器式电路的最大特点是什么？;§3 应用;二、应用范围;2、变ε型;三、应用举例;2、振动仪;3、电容传声器;4、电容测厚仪;5、电容式位移传感器 ;如何利用电容式传感器进行测量？各举一例。