第三章电容传感器.doc 模拟电子 传感器技术知识 .pptVIP

* §2 转换电路 一、等效电路 L r C0 Cp Rg （a）等效电路 Ce R （b）低频 * 二、电桥电路 u Cx C2 Z1 Z2 （a）惠斯登电桥 Uo 特点： （1）高频交流供电 （2）输出阻抗高，需接高输入阻抗、高放大倍数的后续电路。 * 第三章 电容式传感器 ? §1 工作原理与类型 §2 转换电路 §3 应用 * 电容式传感器是把被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容量变化的一种传感器。实际上，它本身（或是和被测物）就是一个可变电容器。 电容式传感器－电容量可变的电容器: Cx * 一、基本原理 §1 工作原理和类型 δ S ε * S ? d ε 改变S、δ、ε中的某个或几个参数，使 传感器的电容随被测量而改变。 S－极板相对覆盖面积； ε－介质的介电常数； δ－极板间距离。 变面积型 变极距型 变介电常数型 * δ0 Δδ DC Dδ δ0 1、变极距型 初始电容量 * S C X C e d w w 1 1 = = 2）、容抗作为输出 线性好 灵敏度高 非线性减小 零点输出小 温度补偿 差动式传感器有哪些优点？ * （1）灵敏度与S、 ε成正比； （2）δ0越小， 越大，但可能击穿，测量范围小； （3） 可以很大，实现纳米测量。 灵敏度： * 特点： 线性较差 灵敏度不是常数 测量范围小 极距变化型电容压力传感器只需很小的能量就能改变电容极板的位置，如在一对直径为1.27cm圆形电容极板上施加l0V电压， 极板间隙为2.54x10-3cm，只需3x1O-5N的力就能使极板产生位移。因此电容传感器可以测量很小的力、振动加速度、而且很灵敏。精度高达0.01%电容式传感器已有商品出现，如一种250mm量程的电容式位移传感器，精度可达5μm。 分辨力极高 * 实际应用中，为了提高传感器的灵敏度、增大线性工作范围和克服外界条件（如电源电压、环境温度等）的变化对测量精度的影响，常常采用差动型电容式传感器。 结论：灵敏度k与极距平方成反比，极距愈小，灵敏度愈高。一般通过减小初始极距来提高灵敏度。由于电容量C与极距δ呈非线性关系，故这将引起非线性误差。为了减小这一误差，通常规定测量范围 。一般取极距变化范围为?????????? 。此时，传感器的灵敏度近似为常数。 * S1 S2 S1 2、变面积型 DC DS 初始电容量 1)平板结构 * ※平面线位移型电容传感器的特性 初始电容量 线性好 当宽度为b的动板沿箭头x方向移动时，覆盖面积变化，电容量也随之变化，电容量为： * ※角位移型电容传感器的特性 初始电容量 线性好 当动板有一转角时，与定板之间相互覆盖的面积就变化，因而导致电容量变化。当覆盖面积对应的中心角为a、极板半径为r时，覆盖面积为： * 2)圆筒形结构电容器 由于平板型传感器的可动极板稍有极距方向移动会影响测量精度，因此一般情况下，变截面积型电容式传感器常做成圆柱形。 * 电容量 灵敏度 当覆盖长度x变化时，电容量变化量为： 线性好 * 线性好； 测量范围大； 灵敏度S是常数，但灵敏度较低； 可测角位移。 变面积型电容传感器的特点： 结论： 变面积型电容传感器的优点是输出与输入成线性关系，但与变极距型电容器相比，灵敏度较低，适用于较大角位移及直线位移的测量。 * ε1 ε2 DC De 大多用于测量电介质的厚度、位移、液位，还可根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量改变而改变来测量温度、湿度、容量等。 3、变介电常数型 * ε x DC Dc ε1 ε2 测位移 * ε h DC D h 测厚度 * 存在介质时，C=C1+C2 （并联） ※变ε的特性及特点 l0、b0——极板长度和宽度 l——第二种电介质进入极间的长度 电介质插入式 * 若电介质1为空气,当l=0时传感器的初始电容 当电介质2进入极间l后引起电容的相对变化为： 电容的变化与电介质2的移动量l成线型关系 灵敏度为： * 下图为非导电散材物料的物位测量，将电容器极板插入被监测的介质中，随着灌装量的增加，极板覆盖面增大，测出电容量即反映灌装高度l 非导电流散材料物位的电容测量 * 变介电常数型电容传感器 a)厚度 b)位移 c)液位 d)介质性质 * 变ε型电容传感器特点： 线性好，灵敏度为常数； 可测物质的属性及几何量。 * 极板间静引力小，所需输入能量也低，可以实现nm级测量 电容式传感器有哪些优点？ 结构简单，易于制造，可以做得很小；选择金属做电极、无机材料（如玻璃、石英和陶瓷等）做支撑，可以在高低温、强辐射、强磁场等恶劣条件下工作 电容值与电极材料无关，可以选择温度系数低的材料；且本身发热小，