后清洗碱槽未喷淋导致烧结后背场出现发白现象的分析报告.ppt

* HK000M4I_Roadshow_1106 CONFIDENTIAL HK000M4I_Roadshow_1106 Prepared by:GeXQ 2009-6-22 9,10线后清洗碱槽未喷淋导致烧结后背场出现发白现象的分析报告 HK000M4I_Roadshow_1106 Issue Description 2009年6月19日夜班，20：30左右，技术员接到电话被告知9，10线后清洗碱槽喷淋存在问题,赶到现场观察KOH槽浮子流量计，发现rinse1风刀几乎被完全关死，碱槽存在大量结晶盐,碱槽已经靠近底部，但报警器并未报警。 影响: Line910片源烧结后出现铝背场颜色不协调现象,共计211P,暂时隔离 处理过程： 1，设备人员更换滤芯清理结晶盐，疏通并开启风刀到最大 2，工艺人员更换KOH药液 后设备正常. Suspect Cause 从上面的描述可以看出有两个问题： a,碱槽为什么会有大量结晶盐 b,浮子流量计浮子几乎快到底部，为什么设备没有报警 碱槽为什么会有大量结晶盐 可能原因： 1,rinse1风刀压力过小，无法吹干片子，导致酸性的rinse1溶液进入碱槽 2，rinse1喷淋角度和喷淋大小存在问题，尤其是下喷淋若开的过大会溅入碱槽浮子流量计浮子几乎快到底部，为什么设备没有报警 可能原因： 1，传感器本身或者线路有问题导致失效 2，浮子没有完全到底部，所以传感器感应不到浮子 Action 问题排除: 碱槽为什么会有大量结晶盐 可能原因： 1,rinse1风刀压力过小，无法吹干片子，导致酸性的rinse1溶液进入碱槽 设备人员检查时，发现rinse1风刀被关的很小，存在问题 2，rinse1喷淋角度和喷淋大小存在问题，尤其是下喷淋若开的过大会溅入碱槽 Rinse1喷淋过大，有溶液溅入碱槽，但量不大，短时间不会造成大量盐（设备人员每班都会点检喷淋和风刀），此为根本原因可以排除 Action 问题排除: b,溶液无法循环时，为什么设备没有报警 可能原因： 碱槽浮子流量计浮子几乎快到底部，为什么设备没有报警 可能原因： 1，传感器本身或者线路有问题导致失效 重新测试传感器，传感器一切正常 2，浮子没有完全到底部，所以传感器感应不到浮子 如下图所示虽然浮子看起来是到底部，但是没有完全到底部， 向上调整传感器，马上报警，此现象需要改进 Root Cause 综合前面的分析共有两个原因导致了问题的发生： 一，rinse1风刀被关的很小，导致rinse1溶液被带入碱槽，结晶盐导致滤芯被堵，喷淋减小。 二， 溶液不足时，如下图中的浮子应该下降，此时下端的浮子流量计由于浮子没有完全降到底部，所以机器没有报警 浮子 浮子流量传感器 Prevention and Improvement 设备方面预防措施: 一，排除生产人员不会对风刀和喷淋进行调节，所以和工艺人员确定风刀和喷淋的操作流程： 1，喷淋的大小属于工艺范畴，发现问题时，通知设备人员，由设备人员进行调整，工艺人员进行确认 2，风刀的调整完全有设备决定，任何人不得私自调整 3，除PM外，设备每班人员对所有喷淋和风刀进行点检 二，稍微向上调整浮子流量计底部的传感器，使流量略微降低的时候，设备立即报警，给与处理。 Thank You 谢谢 * * HK000M4I_Roadshow_1106 CONFIDENTIAL HK000M4I_Roadshow_1106