近代材料分析基本方法SEM课件2014.pptVIP

304不锈钢在海水下晶间腐蚀形貌 球墨铸铁扫描电镜低倍形貌 球墨铸铁扫描电镜高倍形貌 典型疲劳断口形貌——轮胎状疲劳辉纹 疲劳断口低倍形貌 准解理脆性断口形貌 准解理蠕变断口形貌 剪切断口形貌 解理断口形貌——理石状刻面 腐蚀断口疲劳形貌 气孔疏松断口形貌 准解理断口形貌——河流状花样 腐蚀脆性断口形貌 晶间腐蚀断口形貌 微型精密钻头扫描电镜形貌 电子元器件背散射电子形貌 断口的韧窝形貌 扫描电镜能谱测试成分谱图 元素 重量 原子 百分比 百分比 Fe K 100.00 100.00 总量 100.00 疑似夹杂物处测试结果为铁元素（Fe）占100%. 六 扫描电镜的基本参数 放大率 　　与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕／照片面积除以扫描面积得到。 场深 　　在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。 　作用体积 　　电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。 　　作用体积的厚度因信号的不同而不同： 　　欧革电子：0.5～2纳米。 　次级电子：5λ，对于导体，λ=1纳米；对于绝缘体，λ=10纳米。 　背散射电子：10倍于次级电子。 　特征X射线：微米级。 　X射线连续谱：略大于特征X射线，也在微米级。 工作距离 　　工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。 　 如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。 如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。 　 通常使用的工作距离在20毫米到25毫米之间。 成象 　次级（二次）电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次级电子。 表面分析 　　欧革（俄偕）电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关，所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层，所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析最常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高，后者非常精确，可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。具有一定能量的电子，当其入射固体样品时，将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程，激发固体样品产生多种物理信号。 近代材料分析方法实验 扫描电镜的原理及应用 （型号：JSM-5600LV ） 邹 龙 江 2014.10.8 JSM-5600LV型扫描电镜 扫描电镜的应用 扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。 扫描电镜的应用 在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析；各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析； 材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析；快速的多元素面扫描和线扫描分布测量；晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。 扫描电镜（SEM）概述及发展历程 扫描电子显微镜是1952年发明的较现代的细胞生物学研究工具。 主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态。 扫描电镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子。 20世纪70年代，透射式电子显微镜的分辨率约为0.3纳米(人眼的分辨本领约为0.1毫米)。 现在电子显微镜最大放大倍率超过300万倍，而光学显微镜的最大放大倍率约为2000倍，所以通过电子显微镜就能直接观察到某些重金 属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。 电子显微镜的分辨本领虽已远胜于光学显微镜，但电子显微镜因需在真空条件下工作，所以很难观察活的生物，而且电子束的照射也会使生物样品受到辐照损伤。 分辨能力是电子显微镜的重要指标，它与透过样品的电子束入射锥角和波长有关。可见光的波长约为300～700纳米，而电子束的波长与加速电压有关。当加速电压为50～100千伏时，电子束波长约为0.0053～0.0037纳米。由于电子束的波长远远小于可见光的波长，所以即使电子束的锥角仅为光学显微镜的1％，电子显微镜的分辨本领仍远