Li_Cu共掺杂ZnO纳米薄膜的溶胶凝胶法制备_李建昌.docVIP

------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— Li_Cu共掺杂ZnO纳米薄膜的溶胶凝胶法制备_李建昌 DOI:10.13385/ki.vacuum.2012.03.002 第49卷第3期2012年5月 真 空 VACUUM Vol.49,No.3May.2012 Li-Cu共掺杂ZnO纳米薄膜的溶胶凝胶法制备 李建昌，姜永辉，王博锋，巴德纯 （东北大学机械工程及自动化学院真空与流体工程中心，辽宁沈阳110004） 摘 * 要：采用溶胶-凝胶法,通过调整氯化锂和氯化铜的摩尔比在不同基片上制备了不同Li-Cu共掺杂 扫描电子显微镜、透射电子显微镜、紫外可见光分光光度计和伏安浓度的ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、 特性测试等表征了薄膜的结晶状况、表面形貌及光电特性。结果表明：所得Li-Cu共掺杂ZnO薄膜为六角共掺杂ZnO薄膜结晶度增强，晶粒长大，纤锌矿多晶结构，有CuO杂质相生成。随Li和Cu摩尔比增加，样品表面不平整度增加。CuO颗粒的出现，使得共掺杂Z