超硬微结构光学功能表面的超声振动磨削加工技术分析-analysis of ultrasonic vibration grinding technology for ultra-hard microstructure optical functional surface.docx

摘要微结构光学功能表面具有便于设计者优化光学系统的优点，其不仅能够实 现光学元件重量和体积的大幅减小，使光学元件实现功能集成，同时还能够实 现普通光学元件难以达到的微小、阵列和波面转换等新功能。因此，微结构表 面光学功能元件在机械电子、航空航天、光电子以及光学领域都具有非常重要 的应用价值和极其广阔的应用前景。目前，微结构表面光学功能元件大批量高 效率生产的主要途径为精密复制加工，而具有微结构表面超硬模具的超精密磨 削加工是其中的关键技术之一。本课题以用于微结构表面光学玻璃元件模压复制的超硬模具材料为对象， 以实现超硬微结构光学功能表面模具的确定性、超精密、低损伤、高效率加工 为目的。将特种加工技术和超精密加工技术相结合，研制了适用于超硬微结构 光学功能表面的超声振动磨削系统，揭示了超硬微结构表面的超声振动磨削加 工机理，分析了金刚石砂轮在加工微结构表面时的磨削性能演化规律。同时研 究了超声振动参数、磨削工艺参数以及表面结构参数对超硬微结构光学功能表 面完整性的影响规律，并在此基础上优化了超声振动磨削工艺方法，进而解决 了现有超硬材料微结构光学功能表面超精密磨削加工中存在的关键问题。主要 研究内容如下：运用超声振动相关理论和有限元仿真，研制适合微结构表面磨削的超声振 动系统。建立超声振动磨削微结构表面过程中，工件-砂轮以及工件-磨粒间的 运动学关系；结合微结构表面超声振动磨削痕迹的