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                基于电容检测芯片的电容检测系统设计
                    N EW  PRODU CT   T ECH   
         
                               , ,  
                         (  ,                03005 1) 
:  针对电容式传感器研发过程中缺乏有效的微小电容检测仪器的问题, 设计了一种基 电容检测芯片M S3110 的 
电容式传感器检测系统, 给出了系统的硬件设计以及单片机和上位机部分的软件设计, 并对系统的检测精度进行了测 
试结果证明, 该系统具有较高的检测精度 
:     电容式传感器;   检测;  M S 3110 
:  Z62        :           A 
            Det ecting Syst em for Capacitive Sensor Based on MS3110 
                         Zhang Xiaoyong, Chen Yingming, Guo Yuji 
        ( Schoo l of  Informat on and Commun cat on Eng neer ng, No rth U n vers ty  of  Ch na,  T a yuan 03005 1, Ch na) 
Abstract:  A m ng at the pr oblem of lack ng effect ve det ect ng nstrument for m cro capac t ve sensor , a detect ng sy stem s des g ned based 
on M S3 110. T he hardw are des g n of the system and the softwar e des g n of M CU  and host computer ar e descr bed.  System detect on ac 
curacy s tested, and ex per mental r esult s show t hat the system  has h gh detect o n accur acy . 
Key words:  capac t ve senso r; detect on;  M S3 110 
                                         1 Irv ne S ensor  
                                         M S3110M S3110 (  
     0~  10 pF) M SP430F 149 12 A/ D  
                                         , I/ O M S3110  
,  
                                                                               
                                       
( M EM S ) ,                              
pF, f F  
, ,  
                                       
                                       
,                                                    1    
                    [ 1] 
 ,  
                                         2   
,  
  2  1  MS3110  
,                                           MS3110 Irv ne Sensor  
                                          CM OS , +  5 V, 
1                                        4 aF/ Hz1/ 2 ,  
   : A SIC                               :  
; ;                                      ,  
 MS3110  
,                                        60  100  EEPROM 
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