Optorun 设备保养维护方法080128.pdfVIP

Optorun机台 保养手册 为设备长假大保养之参考 前言 当遇到春节、国庆等长假，镀膜设备需要长 时间停机时，为了顺利的再次启动设备，尽 快的恢复生产，同时完成一些需要设备较长 时间停机才能进行的工作，有必要对镀膜设 备进行一次比较彻底的维护和保养。 出于人身安全起见，以下工作在作业时建议 在机器上悬挂“设备保养中”的提示牌，必 要时可以断掉相关的电源 关机 切断主电源 一、主机和电控柜的大清洁及检点 ● 真空室内彻底清洁，重点放在平常连续生产时不能或者不便清洁 的地方，如主阀附近的油污、Heater加热丝等。(以见本色为标准) ● 查看是否有一些耗材、易磨损件等需要更换，例如：密封圈是否有 老化、开裂的现象。 （对于使用超过一年的，建议更换） ● 检查各种紧固装置和气动装置是否有松动和异常声音。 ● 检查各种驱动装置的轴承是否灵活，齿轮与齿轮间的空隙是否正 常。 ● 对TM1、TM2、TM3三处的规管进行清洁。 ● 对电控柜和电子枪电源内部进行大清洁和检点，特别是高压部分的 积尘应清扫干净。 可以采用酒精擦拭和气枪吹相结合的方法进行， 注意所用气体务必是干燥、干净的。 ● 检查电控柜里的接线端子和通讯连接线是否有松动。 ● 根据设备购买日期，检查和确认一些关键的元器件的使用寿命是否 已到。 二、冷却水系统的清洗 目的：除去水垢和其它沉淀物，改 善水质和冷却效果，防止和减少冷 却水报警的出现。 方法：首先对机器自身的水路进行 清洗，本着“一进一出”的原则逐 路清洗，必要时可以使用压缩气 体；然后对外围的冷却水系统进行 清洗，包括管道、水箱等；最后对 图中的风叶流量计进行清洁，安装 时注意转轴勿折断。 注意事项：如果清洗工作是在冬天 气温较低的情况下进行的，为了避 免出现冷却水结冰对管道和设备造 成危害，建议在清洗工作结束后， 把整个冷却系统的水放掉。 三、真空系统维护保养 检查RP、MBP和DP的电源接线端子是否松动。 检查和确认是否需要对RP、MBP和DP进行泵油交换 和腔体清洁，一般泵体作业需要1-2天时间。请注意 所使用泵油（下表为推荐泵油）的规格和用量； 检查RP排气管道系统是否畅通，如有需要可以追加 一个排气扇。 如果有可能，记录polycold平衡压力备考 附：机械泵、扩散泵保养手册 换油 泵每次换油时必须清理泵油过滤器 泵每次换油时必须更换气镇过滤器 六. PEG 清洗或更换备件 第一步：用镊子拆下阴极片 第二步：拆下阳极环，注意：轻轻摇晃，不能过度 搬动 第三步：