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微系统工程学在俄罗斯的发展前景 《舰船导航》2005年第2期 微系统工程学在俄罗斯的发展前景 Professor,Dr.ofSc..PetrPMaltsev fMicrosystems~caravan.ru) 从2O世纪90年代初开始,在许多高度发达的国家,微系统技术(MST)的动态发展代 表着新一代关键技术的发展,它决定了一个新的科技方向——微系统工程的诞生. 微系统工程(MSE)的出现意味着在微型结构中可实现系统领域的一场新的革命,同时, 也意味着不仅要确保它在固定的固态条件下的功能,而且要考虑当微系统的一个物体或物体 的一个零件或和它有关的环境处在共有的时空动力环境下的情况.将微电子学与生俱来的现 代大规模生产技术组合到复杂性不断增加的传统机械装置的生产中(典型的是无线电工程, 光学,机器制造业,装备制造业和生物医学),这个概念是新的.这种组合使得我们在微型化 和低成本的层次上制造出独特的具有多功能的设备. 有必要说明一下,直到现在,任何试图把微系统工程学的术语统一和澄清的尝试都没有 进行.一部分术语来自微电子学,另一部分源于机械和电子技术学科.单独术语间的定性和 定量的分界还未划定. 微系统工程学这个术语出现在1996共同采用关键技术清单后的俄罗斯官方文件上. 2001年,俄罗斯联邦工业,科技部的技术开发基金会(RFTD)举办了主题为基于微机电 系统的新一代设备的开发的竞赛(E—mail:gubarev@minstp.ru),竞赛在以下方向展开: 1)微机器:动力和运动来源,动力驱动器和机械装置. 2)微生化系统:?微计量器系统,微型泵,微阀,微反应堆和微发酵桶. 3)微无线电通讯系统:可控微机电无线装置元件,自适应微光机电工作台. 4)解析的微系统. 开发的设备准备用在医学,生化,无线电通讯,工业自动化,航天工业,电机输送和环 境监测等方面. 2002年初俄罗斯控制系统部(RACS)举办了关于履行2002年的研究,实验设计和技术测 试的公开竞赛,它涉及2002—2006联邦国家技术基础计划中的如下方面:1)微电子技术; 2)无线电通讯技术;3)计算系统技术;4)无线电,微波和声电技术. 竞赛项目中微电子技术(关于微系统工程和纳米电子)部分包括: 1)硅微系统工程技术所需的微机械元件生产技术的开发: 2)玻璃纤维的微系统工程技术所需的微机械元件的基础生产技术的开发. 3)制造纳米元件和微机械存储装置所需的智能化纳米技术联合体的生产基础——技术 38 《舰船导航》2005年第2期 设备的开发. 4)元件尺寸小于lOnm的离子纳米技术设备的开发.. 5)生产基于纳米管碳结构的纳米元件所需的基础技术设备的开发. 1999年俄罗斯高等教育部开设了一个新的专业——2O19OO微系统工程学. 在俄罗斯,1999创办的科技和科学生产杂志一《微系统工程》(htto://www.microsvstem.ru 专门刊登有关微系统工程问题.它是在俄罗斯联邦工业,科技部,俄罗斯联邦教育部以及俄 罗斯科学学会的支持下出版的.这本杂志的任务是阐明微系统工程学发展的现代地位和前景, 考虑发展问题以及在科学,技术和生产的多个领域引进微系统. 《微系统工程学》这本杂志在1999年仅发行了一期,在2000年发行了4期,从2001年 开始按月发行(每年12期). 杂志中的文章分为以下几个栏目: MSE元件和微系统用于物理量,化学元素,生物学材料的敏感元件和信息转换器;生 物芯片:执行装置(微机械装置,微型工具):动力和运动来源(微型驱动器,微型涡轮 机);微机电,微机光与生物技术微系统:能源供应微系统:微系统理论技术. MSE对象的运用——设备和机器设计MSE元件宏系统的组装:基于MSE的宏系统的试 验,检验和操作;航空和汽车电子器件:迷你和微型机器人系统,微机械装置. MSE对象的设计和仿真MSE对象的SAD;MSE对象的仿真,包括考虑氧化效应. MSE材料和技术的基本原理一MSE对象的传统和将来使用的材料:表面和体积微机械材 料,自适应(智能)材料;MSE专用技术:粒子束流(X射线)的微形成,LIGA技术,玻 璃纤维技术,纳米技术,分子电子学. 信息讨论会,会议,展览会,科技新闻和工程,特别文献回顾,MSE教育文献,等等. 俄罗斯基础研究基金专栏(RFBR) 纳米技术新闻 分子电子学世界 这本杂志仅以订阅的形式分发(Rospechat目录索引号79493). 俄语和英语文章的摘要放在每一期杂志的最后,在杂志的网站上也有可能看到这些摘要. 2001年l1月,新技术出版社联合俄罗斯自然科学院的问题研究所,共同出版了1999～ 2000年的《微系统工程学》光盘版,还放有PDF格式的电子彩色版本.光盘中文章按期号和 文章题目统一排序,查找十分容易. 1999年