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纳米光学测量 实验人：林斋帆 合作人：赵子旭 （院系：理工学院10 光信息 学号 组号：A1） 2013 年4 月15 日 【实验目的】 1. 建立纳米精度测量的概念，了解其实现方法。 2. 掌握利用笔束激光干涉法进行纳米精度的位移和振动测量的方法。 【实验原理】 1、位移的纳米测量方法 -9 -8 纳米科学是在纳米（10 m）和原子（约 10 m）的尺度上（1nm～100nm）研究物质的特 性、物质相互作用以及如何利用这些特性的多学科交叉的前沿科学与技术。纳米测量技术是 纳米科学的一个重要分支。现在，亚微米到纳米精度的测量已经成为目前工业发展和科学发 展中迫切需要解决的问题。例如，半导体工业中的高精度模板的制造和定位，高精度传感器 的标定；在科学研究中的量子物理学、化学、分子生物学等都需要很高的测量精度。因此， 无论是对国民经济各部门还是军事领域等，纳米测量都有着巨大意义。世界上许多科学家正 在从事这方面的工作，也为此提出了许多测量原理和方法。 目前能够进行纳米测量的方法主要有：非光学方法和光学方法两大类。前者包括：SPM 法和电容、电感测微法；后者包括X 光干涉仪法、各种形式得激光干涉仪法、和光学光栅等 方法。虽能实现纳米甚至亚纳米的测量分辨率，但这些方法在溯源到米定义的时候，人需要 利用激光干涉仪等光学方法进行定标和校正，因此，光学纳米测量方法在世界上倍受重视。 目前，光学纳米测量方法主要有以下几种：频率跟踪法（F-P 干涉仪）；光外差干涉仪； 偏振干涉仪；调频干涉仪；光栅干涉仪；笔束激光干涉法等。 纳米测量过程还需要建立一个合适的纳米测量环境，以便提高测量精度，减少误差。所 以我们必须注意 （1）采用各种减震隔离装置，包括气浮式、电磁式和机械式隔离系统。一方面减小外界 振动对测量系统的影响，另一方面将测量系统的振动固有频率远离振动源的频率。 （2）保持实验室的室温恒定，减少由于光程差随伟大变化而带来的误差。 （3）采取措施，减少空气扰动的影响。 为此，测量时须注意遵循以下的原则：1、共光路系统原则；2、补偿原则；3、减少受 影响的光路原则；4、减少杂散光原则；5、交流调制放大原则。 本实验使用的是笔束激光干涉法，它是一种经过改良后的光学干涉法，测量精度也可达 到纳米量级，其原理图如图1 所示： He-Ne 激光器 光阑 半反射 镜 参考三 物镜 成像透 角反射 A/D转换 镜 镜 待测三角反射镜 计算机 压电陶 瓷(PZT) 图13.2 公焦实验装置图 图1 笔束激光干涉仪原理图 U 激光器发出的是光斑直径甚细的准直激光束，即笔束光，记其位相分布为 ，半反射