第10篇 章 Z—半导体敏感元件 传感器及其应用 .ppt

第10章 Z—半导体敏感元件 ;10.1 Z—半导体敏感元件的由来与特点; 这种元件正向输入直流电压, 可得到幅值为输入电压 20%～40%的直流脉冲, 频率随温度、湿度、磁场、流量、光强、射线等物理量变化, 无需前置放大器和A/D转换直接得到数字信号（准确地说是脉冲信号）。 它性能独特, 完全区别于一般的半导体二极管和无源敏感元件(如热敏电阻)。 它是一种有源非线性敏感元件。 ; Z—半导体敏感元件(简称Z—元件)是 20 世纪末刚刚出现的高新技术前沿产品。 由于它特性新颖、市场潜力大、具有广阔的应用前景, 已引起国内外广泛的关注和极大的兴趣。Z—元件主要有温敏、光敏和磁敏三种, 目前力敏Z—元件也已应用。 本章详细介绍温敏Z—元件的结构、特性、应用电路、工作原理和应用开发方向, 以供广大读者了解Z—元件, 正确使用Z—元件以备开发新产品时参考。 本章还将简单介绍力敏Z—元件。 ; Z—元件具有一系列优点, 在信息产业界受到高度重视。 它的应用电路极其简单, 输出幅值大、灵敏度高、功耗低、抗干扰能力强, 可分别输出模拟、开关或频率三种信号。当输出数字量信号时, 它不需前置放大和A／D转换就可与计算机直接通讯, 特别适合研制新一代微型三端数字传感器。 这种新型数字传感器可使信息系统的硬件结构大为简化, 有助于降低成本, 提高可靠性, 缩短研制周期, 为用户新产品开发带来很大的方便。 ; 10.1.2 特点 Z—半导体敏感元件是一种新型半导体敏感元件, 它与其它敏感元件相比有如下突出的优点: (1) 体积极小, 特别适合研制微型电子装置。 (2) 反应灵敏, 特别适合研制快速反应的电子装置。 (3) 工作电压低, 工作电流小, 特别适合研制便携式电子装置和本质安全型仪器。 (4)Z—元件应用电路目前在世界范围内是最简单的, 可大幅度降低整机成本, 而且由于它焊点少, 因而故障率低, 可提高整机可靠性。; (5)Z—元件应用电路统一规范, 测量温度、磁场、光强等参数均用同一种简单电路, 为用户的二次开发提供了极大的方便。 (6)Z—元件可直接输出频率信号, 可与计算机直接连接, 免除繁琐昂贵的中间环节, 为用户降低整机成本提供了重要的前提。 (7)Z—元件是研制新一代“数字传感器”的理想元件, 随着数字传感器的不断出现, 在不久的将来可能促成传感器、仪器仪表结构和工业测控方式的重大变革。 (8) 可实现非接触测量。 ;10.2 温敏Z—元件的伏安特性 ; 实际上Z—元件可以简化为一个PN结+敏感层的复合结构。 该敏感层是由元件的扩金工艺制成的。 对于Au在Si中的电学性质和对于掺金硅热敏电阻器的研究表明: Au在Si中为具有较大的扩散系数的深能级杂质, 在距离价带顶0.35 eV处有一施主能级, 在距离带底0.45 eV有一受主能级。 无论是在N型硅还是在P型硅中Au均起到复合中心的作用, 可以减少Si中的载流子浓度和提高电阻率并形成热敏电阻。 该热敏层具有典型的体效应半导体的特征。 ; 温敏Z—元件是一种两端子有限热敏元件, 它在-25～+100 °C的环境温度中具有较高的输出灵敏度, 超过现今任何一种热敏元件。 温敏Z—元件的半导体结构如图10.1(a)所示。 其电路符号如图10.1(b)所示, “+”号表示P区, 即在正偏使用时接电源正极。 图10.1(c)为正向伏安特性, 与一般PN结不同, 该伏安特性具有“L”型特征。 它可分成三个工作区: M1高阻区（详细又可分为线性区和非线性区）, M2负阻区, M3低阻区。 它具有四个特征参数: UTh为阀值电压, ITh为阀值电流, Uf为导通电压, If为导通电流。 ? ;图10.1 电路符号与伏安特性 ;10.3 基本应用电路; 图10.2所示的三种基本电路都是Z—元件与无源元件的某种组合, 电路极为简单而且规范。 它们仅有三个端子: 直流电源E、输出Uo和地, 可构成微型三端传感器。 这种微型三端传感器按采用电路不同, 可分别输出以温度为变量的模拟信号、开关信号和频率信号。 其中后两种输出为数字信号, 称为三端数字传感器。 这种数字传感器, 其输出信号不需放大, 也不需经过A/D转换即是数字信号, 因而可与计算机直接通讯。 它使信息系统的硬件结构大为简化, 为用户的系统设计带来极大的方便, 必将成为未来信息采集系统