(vacuum technique)真空技术.pptVIP

真空技术是使气体压强低于地面大气压强的技术。真空是指压力远小于101.325千帕（kPa）（即1大气压 ）的稀薄气体空间。在真空技术中除国际单位制的压力单位Pa外，常以托（Torr）作为真空度的单位。1托等于1毫米高的汞柱所产生的压力，即1Torr＝133.3224Pa。按气体压力大小的不同，通常把真空范围划分为： 低真空1×105 ～1×102Pa， 中真空1×102～1×10-1Pa， 高真空1×10-1～1×10-5Pa， 超高真空1×10-5～1×10-9Pa， 极高真空1×10-9Pa以下。 真空技术 真空的获得 真空的测量 真空的应用 真空系统 真空的获得 为了使体系形成真空就必须将其中的气体排出或使气体分子不再能在体系内自由运动。因此，形成真空的方法有两类：①应用机械的装置将体系中的气体抽出；②利用吸气剂、捕集器等将体系中气体吸附。前者所用的装置常称之为抽气机、真空泵。有一种真空泵能将气体的压力从1.013?105Pa（1atm）下降到一定的不太高的真空度，这种真空泵称为“前级泵”。另一种泵则只能从较低的真空度抽气至高真空度，这种真空泵称为“次级泵”。因此，欲达较高真空度常要将“前级泵”和“次级泵”“接力”使用。 真空泵 真空的获得 由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面: 真空泵在真空系统中所承担的工作任务 真空的获得 1）在系统中做主泵 所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。 2）粗抽泵 粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。 3）前级泵 前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。 真空泵在真空系统中所承担的工作任务 真空的获得 4）维持泵 维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。 为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主 泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。 5）粗真空泵或低真空泵 粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。 6）高真空泵 高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。 真空泵在真空系统中所承担的工作任务 真空的获得 7）超高真空泵 超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。 8）增压泵 增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。 真空泵在真空系统中所承担的工作任务 真空的测量 测量低压下气体压强的装置称为真空规或真空计。常用真空规及其测量范围列于表F1中。在这些真空规中最常用的是麦氏真空计、热偶规和电离真空计 表F1 真空规及其测量范围 真空规 测量范围 汞压力计 1.333?102 – 1.333?105 Pa (1 – 1000Torr) 油压力计 3.999 – 1.333?103 Pa (0.03 – 10 Torr) 热偶规 0.1333 – 3.999?102 Pa (10-3 – 3Torr) 皮拉尼（Pirani）规 1.333?10-2 – 0.3999?102 Pa (10-4 – 0.3Torr) 麦氏真空计 1.333?10-3 – 1.333?102 Pa (10-5 – 1Torr) 电离真空规 a粒子电离真空规 1.333?10-2 – 1.333?104 Pa (10-4 – 100Torr) 冷阴极电离真空规 1.333?10-4 – 1.333 Pa (10-6 – 10-2 Torr) 热离子电离真空规 1.333?10-6 – 0.1333 Pa (10-8 – 10-3 Torr) B-A型电离真空规 1.333?10-9 – 0.1333 Pa (10-11 – 10-3 Torr) 磁控电离真空规 1.333?10-10 – 0.1333 Pa (10-12 – 10-3 Torr) 真空的测量 这是实验室最常用的一种绝对真空规，它的测量范围大，常用于校准其它类型的真空计。利用麦氏真空计测量真空度的基本原理是：将与真空体系相通的一部分气体加以压缩，比较压缩前后的体积与压力的变化，依波义耳定律即可计算出体系的压强。 麦氏真空计 真空的测量 其工作原理是当气体压强低于13.33Pa（10-1Torr）时气体的导热系数与压强成正比，导热系数不同热电动势也发生变化，因而可得到热电势与