材料分析测试方法十一透射电子显微镜.pptVIP

* 消像散器 像散是由于透镜磁场的非旋转对称而引起的，可以通过引入矫正磁场（激磁强度和磁场方向可以调节改变）来进行补偿，把固有的椭圆形磁场校正成轴对称磁场，起到消除像散的作用。 消像散器：机械式、电磁式； 一般安装在透镜的上、下极靴之间。 一、透射电子显微镜的结构 第28页/共36页 * 选区光阑：也叫场限光阑或视场光阑 作用：通过调节选区光阑的位置和大小，可以选择所要观察的试样区域；实际是通过选择由物镜放大的图像范围来限制产生衍射的试样区域范围。 位置：位于物镜像平面附近； 光阑孔直径：20～400?m 一、透射电子显微镜的结构 第29页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 （2）成像放大系统 B、中间镜(Intermediate Lens) 弱激磁、长焦距、变倍（0～20倍）透镜；进一步放大物镜所成的像。通过调节中间镜的可变倍率来控制电镜的总放大倍数。 中间镜可以对“像”或“衍射斑点”聚焦，这也决定了荧光屏上显示的是“像”还是“衍射斑点”： 放大镜——其物平面与物镜的像平面重合 衍射镜——其物平面与物镜后焦面重合 第30页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 （2）成像放大系统 C、投影镜(Projector Lens) 作用：将经过中间镜放大（或缩小）的像（或电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上。它的激磁电流一般是固定的。 强激磁、短焦距、景深和焦长都非常大（成像电子束进入投影镜时孔径角很小，约10-3rad）； 第31页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 （2）成像放大系统 三级放大成像系统不同倍率范围时的工作光路 第32页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 （3）观察记录系统 观察屏：荧光屏 照相机构：相机、照相底板 计算机：观察和输出图像 由于透射电子显微镜的焦长很长，虽然荧光屏和底片之间有数十厘米的间距，仍能得到清晰的图像。 第33页/共36页 * 二、透射电子显微镜的工作原理 TEM的基本成像原理 像平面 光栅 后焦面 入射光束 f0 0 1 -1 阿贝成像原理 平行光束受到周期结构试样的散射作用，形成各级衍射束，经透镜聚焦，会聚于其后焦面上，以衍射花样的形式将试样结构信息显示出来。 然后，各级衍射束通过干涉重新在像平面上会聚，形成反映试样特征的像。 在透射电镜中，物镜是将来自试样不同点处同方向、同相位的弹性散射电子会聚于其后焦面上得衍射花样；将来自试样同一点不同方向的弹性散射电子会聚于其像平面上得形貌像。 第34页/共36页 * TEM的基本成像原理 衍射谱——在物镜后焦面 光栅像——在物镜像平面 二、透射电子显微镜的工作原理 第35页/共36页 * 透射电子显微镜 Thanks 第36页/共36页 * 透射电子显微镜 一、透射电子显微镜的结构 二、透射电子显微镜的工作原理 第1页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 透射电镜的组成部分： （1）电子光学系统 电镜的核心部分，为直立积木式结构（镜筒），上面是照明系统，中间是成像放大系统，下面是观察与记录系统； （2）真空系统 为镜筒提供10-4 ～10-6 Torr的真空度 （3）电源系统 （4）循环冷却系统 （5）控制系统 第2页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 照明系统 成像放大系统 观察记录系统 透射电镜电子光学系统的基本结构、原理与光学显微镜很相似，均包括三个部分： 第3页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 透射电镜电子光学系统 图 透射电子显微镜的剖面图 第4页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 组成部分：电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置 作用：提供一束亮度高、相干性好（能量稳定、平行度好）、照明孔径角小和束流稳定的照明源。 通过聚光镜的控制可以实现从平行照明到大会聚角的照明条件。为满足中心暗场成像的需要，照明电子束可在2?~3?范围内倾斜。 第5页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 A、电子枪 类型：热电子发射型、场发射型 热电子发射型的热阴极三极电子枪： 阴极：灯丝（钨、LaB6） 阳极：中央带小孔的金属板， 接地（给电子加速） 栅极：控制极，使电子束强烈 会聚（成实际电子源） 图 电子枪结构示意图 1：阴极； 2：栅极； 3：阳极；4：电子束交叉点 第6页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构 （1）照明系统 电镜中唯一的静电透镜，等电位面在空间呈弯曲状；电子枪交叉点即所谓的电子源，交叉点处电子束直径约几十微米。 （a）自偏压回路 （b）电子枪结构图 第7页/共36页 * 一、透射电子显微镜的结构