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微械生郭威廷指教授宗麟博士立交通大械工程系中文摘要半十年的展已成足重的然而普遍存在於半元件的漏流跟著晶微小化的程跟著降低未完全解直到最近年可式置的盛行此一得重而相的研究解法也提出微波微械的研究即是其中之一易的械式具有高性低耗能低耗可批次造性化等因此也被泛的用在各域如波器相位整器可式天然而目前只有的功能能取代部分半元件的功能基於的理由我研具功能之微械冀望能直接替此命名微械由於此元件合微械的的功能我期此元件比微波微械更容易且泛的被使用在本篇文中提出了想中微械的型以模其性能如共振率及不同入下是否可以正
微機械邏輯閘
學生:郭威廷 指導教授: 陳宗麟 博士
國立交通大學 機械工程學系
中文摘要
半導體經過數十年的發展，已經成為舉足輕重的產業。然而普遍存在於半導體
元件的問題“漏電流＂(Leakage current) ，僅跟隨著電晶體微小化(Scale down)的過程
跟著降低，問題並未完全解決。直到最近 5 年來可攜式裝置(Mobile devices)的盛
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