蓝宝石CMP加工机理与工艺技术的研究(硕士论文)（可编辑）.docVIP

, , ,,, . , .、Ⅳ. , ? ’ . ,, 曲. : . .,, .. , ., ? . ,/ 谢.,,,. .. . , ., . , , . :,? , , 浙江工业大学硕士学位论文 目 录 摘 要?.??..。? 第一章绪论 . 课题研究的背景和意义 . 蓝宝石的特性?. ..单晶蓝宝石的晶体结构. ..单晶蓝宝石的材料特性 ..单晶蓝宝石的热性质? . 蓝宝石的制备? . 单晶蓝宝石超光滑表面研究现状..单晶蓝宝石加工技术简介.. 国内外的研究现状及趋势 . 课题研究内容. 第二章 蓝宝石晶片加工机理分析?。 . 蓝宝石中材料去除的动力学过程及构成?.. .. 蓝宝石表面的动力学过程分析 ..蓝宝石晶片表面材料去除量构成模型??.. . 加工中磨粒接触模型的研究? ..基于接触力学理论的建模分析 ..基于流体动力学原理的建模分析?.. 单颗磨粒对材料去除的影响. . 蓝宝石晶片化学机械抛光加工机理分析?. ..蓝宝石化学反应机理? ..化学作用下表面软质层对蓝宝石去除的影响??一 . 本章小结??. 第三章 蓝宝石双面化学机械抛光加工实验研究?。 . 试验仪器与设备??. . 抛光垫. . 试验样品??.. . 抛光液的影响. 目录 . 蓝宝石加工参数的影响 ..抛光转速的影响 ..抛光压力的影响??.. ..抛光液浓度的影响. 本章小结??.. 第四章 采用神经网络模型对蓝宝石抛光去除率的预测研究 ...... . 弓言?.. . 神经网络介绍? . 人工神经网络模型?一 . 神经网络? .. 神经网络模型 .. 神经网络的算法?. .. 神经网络层数和节点数的确定【】.. . 网络建模及结果预测. 本章小结??.. 第五章 蓝宝石加工工艺参数优化及实验验证. 蓝宝石双面抛光加工工艺参数的优化??.. . 金相显微镜对蓝宝石晶片的检测分析??. . 白光干涉仪对蓝宝石晶片表面粗糙度的检测分析. .. 白光干涉仪的工作原理??。 ..蓝宝石晶片表面的检测分析.. .本章小结 第六章总结与展望. 总结?。 . 展望?.. 符号说明?.. 参考文献?.. 致 谢攻读学位期间参加的科研项目和成果??.. 浙江工业大学硕士学位论文 第一章 绪论 .课题研究的背景和意义 当今社会科学技术的不断发展,环保和节能已经成为世界经济发展的两大主题。美 国能源部预测至年电力能源的消耗每年将保持.%的速度增长,固态照明是目前 世界上公认的一种最有效的节能途径,而高亮度发光二极管 的问世,使得的用途从指示灯转向照明的革命性的变革。产品具有寿命长、 ● 体积小、耗电量低、驱动电压低、反应速度快、耐震性佳及单色性佳等优点,成为各种 电器、信息看板、通讯产品的发光组件。不同于传统意义上的灯泡的热发光,属 于一种冷发光材料,不依靠发热使灯丝发光,可以减少发光带来的能量消耗,使能量转 化效率提高,理论上可以达到一般白炽灯的%的能耗,与荧光灯相比也可以达到% 的节能效果。它的基本构造是一块电致发光的半导体材料,置于一个有引线的架子上, 然后四周用环氧树脂密好,起到保护内部芯线的作用。中国绿色照明工程促进项目办公 室做过一个专项调查,每年我国用在照明的电量达多亿度以上,而如果所有的白炽 灯与部分的荧光灯被取代后,可以节约亿度左右的电量,意味着可以节省/ 的照明用电,相当于一个总投资超过亿的三峡工程全年的发电量,其经济效益和社 会效益是极其可观的,将大大减少火力发电造成的大气污染,有效保护地球的生态环境, 相对于能源十分紧张的我国来说,无疑具有十分重要的意义。世界各国包括、 在内的许多大型公司已经将大量资金投入到的研究中,极大地加快了的进程。 一般来说,高亮度的发光效率为珊啊而超高亮度的发光效率大于 /,技术的迅猛发展使人类看到了固态照明的曙光。年的发光效率仅 在/,年批量生产的发光效率达到了/,研究室的水平达到了 /左右,预计年批量生产的发光效率可以达到/‘。随着我国半导 体照明工程的启动,大大拓展了的应用领域,使我国产业进入了飞速发展的新 阶段,中下游产业如薄膜生长、芯片及封装等技术将飞速发展。但上游产业如蓝宝石, 硅片等晶体生长和研磨抛光加工等工艺发展相对缓慢。】,导致目前我国只能提供装饰第章绪论 灯、指示灯等较低附加值的灯具。 作为继、之后的第三代半导体材料的,使得半导体发光二极管和激光 器上了一个新的台阶,其在器件上的应用被视为世纪年代半导体最重大的事件之 一。而作为半导体照明产业技术发展基石的衬底材料,它的选择直接决定了芯片的 制造路线,是半导体照明产业的核心技术,具有非常重要的地位。一般来说,评价衬底 材料必须考虑以下因素【.: .衬底与外延膜的结构匹配程度:外延材料与衬底材料的晶体结构相同或相近、 晶格常数