国际半导体技术发展路线图（ITRS）2009年版综述.pdfVIP

中国集成电路 产业发展 CIC China lntegrated Circult 国际半导体技术发展路线图 （ITRS ）2 0 0 9 年版综述（1 ） 本刊编辑 为国译 1 概述 导体工业协会（SIA）发起编写了美国国家半导体技 术发展路线图（National Technology Roadmap for 四十年来，半导体工业最明显的特征之一，就是 Semiconductor，NTRS），共发表了1992 年、1994 年 它的产品的更新换代非常迅速。重要的改进趋势，每 和1997 年三个版本。在1998 年，由美国半导体工业 种趋势的典型范例如表A 所示。绝大部分的改进和 协会提议，邀请了欧洲、日本、韩国和台湾等国家和 提高都是由一个重要特征决定的，即：制造集成电路 地区的人士参加，对路线图进行了更新，最终形成了 的最小尺寸可以不断地呈指数性地迅速缩小。显然， 1999 年的第一版国际半导体技术发展路线图（The 我们最常引用的趋势就是集成度，也就是通常所说 International Technology Roadmap for Semiconductors ， 的摩尔提出来并以他的名字命名的 “摩尔定律” ITRS）。在此之后，国际半导体技术发展路线图在每 （每个芯片上的元件数目每隔二十四个月增加一 偶数年份进行更新，每单数年份进行全面修订。 倍）。对于社会来讲，最为重要的发展趋势是降低单 ITRS 的整体目标是提供被工业界广泛认同的对未 位功能的成本，使人们可以享用到更多的计算机、电 来十五年内研发需求的最佳预测。因此，对公司、研 子通讯产品和消费电子产品，从而大幅度提高了劳 发团体和政府都有指导作用。路线图对提高各个层 动生产率和人们的生活质量。 次上研发投资的决策质量都有重要意义，并且帮助 表A特征尺寸缩小带来的IC改进趋势 将研究方向引导至最需要突破的领域中去。 从路线图文件的发展来看，可以很明显地感觉 到，路线图的编纂是一个动态的过程。路线图反映了 半导体工业正在从几何尺寸的按比例缩小 （geometrical scaling） 向等效的按比例缩小 （equivalent scaling）的方向上发展。几何尺寸的按比 例缩小（例如根据摩尔定律的按比例缩小）已经在 所有上述改进趋势，有时候被称为“按比例缩 以前的三十年中成为业界的指导目标，并将继续在 小趋势（scaling）”，已经通过巨额研发投资实现。在 芯片制造的很多方面起着指导作用。等效按比例缩 过去的三十年中，投资需求的不断增长促进了工业 小的目标，例如通过创新设计、软件解决方案和创新 界的联盟，并促进了大量的研发合作、协会和其它种 的工艺改进性能，将继续指导半导体工业在这个十 种合作形式的诞生。为了指导这些研发项目，美国半 年期和未来十年的发展。 自从2001 年以来，路线图 中国集成电路 产业发展 CIC