多晶硅制备中理化检测.pptVIP

2007年7月 李 本 成 多晶硅制备中的理化检测 李 本 成 2007－7－16 目录 四、多晶硅制备中的化学分析 1、气体分析 2、纯水分析 3、SiHCl3的含量及杂质分析 一、多晶硅制备中理化检测的意义 多晶硅制备中的理化检测，特别是在线的化学分析，是多晶硅制备时 的眼睛，为了保证最终产品的质量，这种检测和分析是不可或缺的。 高纯度多晶硅是用于制备电力电子元件、大规模集成电路和太阳能光 伏电池的基础原料，多晶硅质量的好坏直接影响这些后续产品的质量， 作为多晶硅制造商必须确保自身产品高质量。 我们所制备的高纯度多晶硅的纯度大多在7～9个“9”的纯度，所使用的 原料、试剂、设备、设施的任何不洁，都将给最终产品带来污染，因 此我们必须随时知道生产产品的所有原料、接触最终产品的所有试剂、 设备、设施所达到的洁净程度。我们所使用的各种检测、分析都是为 此目的而进行的。 二、多晶硅制备中所需检测的内容（1） 1、多晶硅的外观检测: 多晶硅的外观检测主要是目测，它包括三个方面的内容： 一是硅棒表面结晶的致密程度。一般说来，要求硅棒表面结