电子显微图像衬度.pptVIP

透射电子显微分析---图像的衬度 §1.概 述 电子显微图像是电子与物质相互作用后所携带的结构信息的记录。入射到试样中的电子束受到原子的散射，在离开下表面时除了入射方向的透射束外，还有受晶体结构调制的各级衍射束，它们的振幅和相位都发生了变化，依选取成像信息的不同，使获得的图像衬度出现了不同的形成机制。 衬度种类： 振幅衬度 质厚衬度 衍射衬度 相位衬度 §1.概 述 质厚衬度 （适合于非晶样品） 衍射衬度 如果除透射束外还同时让一束或多束衍射束参加成像，就会由于各束的相位相干作用而得到晶格(条纹)像和晶体结构(原子)像，前者是晶体中原子面的投影，而后者是晶体中原子或原子集团电势场的二维投影。用来成像的衍射束越多，得到的晶体结构细节越丰富。衍射衬度像的分辨率不能优于1.5 nm（弱束暗场像的极限分辨率），而相位衬度像能提供小于1.5 nm的细节。因此，这种图像称为高分辨像。用相位衬度方法成像(其原理请参考专著），不仅能提供样品研究对象的形态(在通常的倍率下相当于明场像)，更重要的是提供了晶体结构信息。 §2.电子衍衬成像 利用衍衬成像原理可以计算各像点的强度，从而可以定性乃至定量地解释衍衬图像的成因。 薄晶体电子显微图像的衬度可用运动学理论或动力学理论来解释： （1）运动学：电子束进入晶体后，随入射深度的增大在不考虑吸收的条件下，透射束不断减弱，而衍射束不断加强。 （2）动力学：随电子束深入晶体，透射束和衍射束之间的能量是交替变换的。 动力学理论更能准确地解释薄晶体中的衍衬效应，但物理模型抽象、数学推导极其繁琐；运动学理论简单，物理模型简单，在样品非常薄的前提下，对大多数衍衬现象都能很好地 定性说明，实际上是动力学理论地一个近似处理。 §2.1 电子衍衬成像运动学理论 基本假设 （1）双束近似：除透射束外，只有一个强衍射束，且让它偏离精确的布拉格条件； （2）样品非常薄，此时吸收、多重散射以及透射束与衍射束之间交互作用均可忽略不记； （3）柱体近似模型：电子束穿过薄晶体时，无论是透射束振幅还是衍射束振幅，都可看成是包括透射波矢和衍射波矢在内的截面甚小的晶柱内的原子或晶胞散射振幅的叠加。因此，可以将试样看作由许许多多这样的晶柱平行排列组成的散射体，并认为柱与柱之间不发生交互作用。 消光距离 （1）双光束条件下的散射过程： 设(hkl)处于精确的布拉格位置，入射波被激发为透射波和(hkl)衍射波。当波矢量为k0的入射波到达样品表面时，即开始受到晶体内原子的散射，产生波矢为k的衍射波。随着电子波在晶体内深度方向上的传播，透射波强度不断减弱，若忽略非弹性散射和吸收效应，则相应的能量转移到衍射波方向，使衍射波的强度不断增大。当电子波在晶体内传播到一定深度时，透射波的振幅?0下降为零，全部能量转移到衍射波方向，使其振幅?g上升为最大。 与此同时注意到，衍射波与(hkl)晶面也成布拉格角，于是在晶体内逐步增强的衍射波也必将作为新的入射波，激发同一晶面的二次衍射，这样激发的二次衍射的方向与透射波的方向相同。这种强烈的动力学相互作用的必然结果是透射束强度和衍射束强度在晶体深度方向上发生周期性振荡，振荡在深度方向的周期定义为消光距离，以?g表示。 （2）消光距离?g表达式 完整晶体衍射运动学基本方程 完整晶体衍衬动力学方程（双束） （1）Ig随样品厚度t振荡，等厚消光 （2）Ig随偏移矢量s的变化，等倾消光 非完整晶体衍射运动学基本方程 位错 位错 在面心立方晶体中，在各个双束条件下全位错的可见和不可见的衍射像示意图如图所示，图中右下角插入衍射成像所用的操作反射g。由图可知，用g020成像，出现A﹑B﹑C﹑D位错像，用g200 成像，则C﹑D位错消失，但出现了E位错；再用 g 成像，A﹑C位错消失，仅存B﹑D﹑E位错成像。根据上述不同操作的反射g的衍射像，结合面心立方位错的类型，根据表进行判断，可方便确定出衍射像中位错的柏氏矢量，它们分别为： 　薄膜内存在倾斜于表面的层错，它与上、下表面的交线分别为T和B，此时层错区域内的衍射振幅仍由距上表面的深度决定；但在该区域内的不同位置，晶体柱上、下两部分的厚度t1和t2=t-t1是逐点变化的，Ig将随t1厚度的变化产生周期性的振荡，同时，层错面在试样中同一深度z处，Ig相同。因此，层错衍衬像表现为平行于层错面迹线的明暗相间的条纹。 重叠层错分析 §3.高分辨成像 在加速电压Ｕ下，入射电子在轰击晶体试样前的波长为