传感器原理及电阻式传感器ppt课件.pptVIP

6.2.1电阻式传感器 （3）薄膜式 它是采用真空溅射或真空沉积等镀膜技术将应变电阻材料镀在基底材料上而形成的(厚度在零点几nm到几百nm)。 这类应变片的显著特点是灵敏系数大，允许的电流密度大，工作温度范围广(－197～317 ℃)，也可用于核辐射等特殊情况下，易实现工业化批量生产。 6.2.1电阻式传感器 4.半导体式应变片 半导体应变片分为体型和扩散型。 ①体型：利用半导体材料的体电阻制成。如图6.6所示 ②扩散型：在半导体材料的基片上利用集成电路工艺制成。 图6.6体型半导体式应变片 6.2.1电阻式传感器 半导体应变片有如下优点： ①灵敏度高。 ②体积小，耗电省。 ③具有两种符号的应力效应(即在拉伸时P型硅应变片的灵敏系数为正值，N型硅的为负值)。 主要缺点是受温度的影响大、非线性严重。 6.2.1电阻式传感器 5.电阻应变片的性能参数 （1）电阻值：是指应变片在安装前及室温下测定的电阻值，也称为初始电阻值。120 Ω和350Ω 应用较多。 （2）几何参数：敏感栅基长1和宽度b，制造厂常用b*1表示。 （3）灵敏系数：表示应变片变换性能的重要参数。 （4）绝缘电阻：应