轮胎压力监测,机油压力,进气压力专用压力传感器TPMS低成本方案SM5420C.pptVIP

SM5420 - 在TPMS中的应用低价位的TPMS 北京富百纳微电子科技有限公司 - SM5420 汽车机油压力传感器，进气压力传感器，轮胎压力监测专用芯片 公司介绍 富百纳QCE-BJ为全球领先的电子元器件供应商。 公司代理美国SMI压力传感器、台湾铼宝OLED，UNION电源模块TI集成电路等美国SMI公司专心致力于MEMS硅压力传感芯片的研发和生产，SMI硅压力传感器广泛应用于工业、医疗、汽车以及其他通用设备上。 联系电话： 139-1076-8193　MICO.WANG 86-010QQ:399 069 393 传 真：电话咨询 公司地址：北京海淀区西三环西钓鱼台嘉园4#803 SM5420简介 SM5420是美国SMI公司,为开发轮胎压力传感器，设计和研制出了一种适用的绝对压力传感器，它是一种基于MEMS硅体微机械加工技术的微型压阻绝对压力传感器，敏感元件为―集成惠斯顿全桥。 力敏电阻按常规设计分布在正方形硅薄膜的四边边缘中心点，按〈110〉晶向排列，一对呈纵向布局，一对呈切向布局，从而形成惠斯顿应变全桥。电阻条宽8um，全长60um,平均有效应力可以保证100mV／V 的输出灵敏度。电阻采用离子注入掺杂形成，有优良的均匀性和掺杂准确度以保证零位和灵敏度的稳定性，电阻设计的阻抗为5KΩ，采用硅硅键合技