SiOz电极间距离0mm基板固定时1000X／miIl以上Fe合金.PDFVIP

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2018-06-08 发布于天津
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SiOz电极间距离0mm基板固定时1000X／miIl以上Fe合金.PDF

性能仕禄性到力台排台分以内但内及料入加定位置真空槽付着速度画以上距基板固定以上合金国基板固定成膜分布基板固定以内基板回瞳以内但上弊社及基板使用膜厚操作力基板加最高昌雪均常温但制御用取付位置加部温度基板温度部温度基板温度比正仕丑母巡召是母乱方式方式寸法体保持法基板基板冷却法水冷源水晶振式上葱止制水晶振式操作排系自手操作一一所要元面上旬本血操作源源操作内量本源源一冷却水量供力画供量系以下瞳本以下画理以下排水力空国君供力定力湿度水冷除湿程度源第一安全通本装置技基高器属使用安全第一又他器妨害波障害等必接

２．性能・仕禄２－１性館 2－１－１到達圧力１０‐7Torr台２－１－２排気時間１０‐6Torr台まで15分以内但し、２－１，２－２項は標準電極内蔵でターケット及び資料無挿入,無加熱 ■

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