关于EWMA反馈控制的几个题目.pdfVIP

摘 要 指数妻g投移动乎均(EwMA)反缓控割是基于EwMA统计器的控捌算法，窿将统计 过程控制(SPc)和工程过秘控制(EPe／APG)两种过程挠眺技术相结合，广泛应厢于半 导体生产道程。带有固定折扣因子的EWMA控制规划在一定条件下可以保持=擞产过程 最期的平稳住，毽遴常这一溺节过穰需要稿辩较多抵次使过程输出接近鍪标值，这襻在 最初批次中的过程输出的偏凝会较大，很多产品将不符合规格簧求．对千小批爨生产， e￡ 吾麓姿生产溺赣绩袈跨过程祷窭还漫蠢狡簸刭銎栝毽，这会产慧严重静蓐栗。譬seng al(2003)掇出了引入变动折扣因子的想法，其结论对于实际生产具有十分重要的辩义．为 了簿低可貔较裹懿题王事，挺高牧敛逮囊，弼辩藏爨洙知参数趣初始镁诗对过瑕攘出变 擞的影响，基于前人的想法及研究成荣，本文在无漂移的单输入单输出祭统(S180)中， B}入变动撕拓露子，并提出最优化的准则，对芎：各种拨动项模掇假定绘予充分讨论，绘 出扰动硬淹IMAfl，1)时最优折扣因子的表达式，以及箕它抗莉顷情况下数值最傀解。瓣 时，为了简化计算，讨论扰动项为MA(1)时效值最优辫的近似公式． 由于聪wMA控髓方法包含三个帮分；道程虢入耱窭模蚕、覆灞穰麓释褪寝懿反谈 撩制规划，许多关予EwMA控制舣划的平稳条伴、性能和最优折扣因子的研究都要以 鬏潮模蝥势基礁，农实嚣生产孛，建立囊爨摸鬻是攫撂一组亲鑫过程孛壤入耱毒变量总 体的随机榉率，因此在验诋EwMA控制规划平稳性条件时，样本容量和输入输出变量 鲤耀关程发起到了熬要作难。对于S撼0系统，本文主舞解决以下两个翘趣：一魁在可以 陵定折扣闲子取值范匿时，给出最小样本骞薰的公式；二是当我们所能抽取的样本容量 目o玛…(n…为计算得到的最小样本容量)，应该如何限定折扣因子的范围． 关键谰：EwMA反馈控制，SlSO系统，变动折扣因子，平稳域。样本容薰 A辩STRACT The controIlerisa exponemianywe追htedrnoViHga僧rage(EwMA)feedbackprocess which b8sedontheEWMAstatistic of integrat抟and∞mbines algorithm e沁str鼬菪￡王ls stati8tical processcontr。l(SPe)and proces8 automatic／en百neeringcontr01(APC／EPc) These co永r蘸te盘niq毽esh揪bee珏鑫pp嚣edto瑙鑫藏yse毽i∞nd硅et甜m8矗垃蠡档娃ri珏gp}oeesseS fbced EWMAcontroller州th扭smalldiscountfactorcan a A1thou曲the g㈨rantee10n争 ter搬s￡鑫巍珏锣(珏艇档勉}每reg啦8r∞n文#ions)，拽usu8珏y}equiresa越oder8#elyl＆rge矬勰一 mnsto the ofa toits deviationsare berof target．The bringoutputproces8 output usualIy be