- 1、本文档共95页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 第23次课 * * * * * 4.2.1.2.3 不连续薄膜的导电特性 4.2.1.2.3 不连续薄膜的导电特性 活化隧道理论 该理论认为:电子从一个中性小岛移至另一个中性小岛,因而使原来的一些带有电荷在载电小岛与中性小岛间的电子传输是一个隧道过程。 4.2.1.2.3 不连续薄膜的导电特性 4.2.1.2.3 不连续薄膜的导电特性 式中:N是岛 状薄膜单位面积内小岛数目, 是活化能。即是将一个电子从一个 中性小岛移到另一个中性小岛所需要的能量。设每个小岛的体积为4/3πa3, 则岛状薄膜总体积为: 并设带电的小岛带一个电子(成一个空穴)。 则岛状薄膜的载流子密度: 所以岛状薄膜的电导率为: 相邻两岛的中心距离为 ∴薄膜的方块电阻为: ∴薄膜的电流密度为: 所以岛状薄膜的电导率为: 4.2.1.2.3 不连续薄膜的导电特性 结论:小岛线度a↓→载流子密度na↑→σa↑→R口↓ 岛间距离d↑→ σa ↓ (∵指数衰减比d2增加快) 关于岛状薄膜电导理论: 还有允许态间隧道理论… 通过基片的隧道理论… 4.2.1.2.3 不连续薄膜的导电特性 网状薄膜的电导 网状薄膜的电导是由金属小岛、金属接触点或者 金属细丝以及岛间空隙的电导所构成。 接触膜电阻:岛间电阻>>接触电阻>>小岛本身电阻 丝状膜电阻:除了电子在薄膜的两个平行面上散射外, 还受到细丝的整个周界的严重散射 ∴丝状膜电阻>>连续薄膜电阻 4.2.1.2.3 不连续薄膜的导电特性 (1)空间电荷限制电流(space-charge-limited contributions, SCLC)机制 ——一种体内电导机制。 在低电压下,注入载流子的浓度小——本征激发电子影响 4.2.1.3 介质薄膜的电导特性 1. 电子性电导—几种主要导电机理分析 (1)空间电荷限制电流(space-charge-limited contributions, SCLC)机制 当电压升高时,注入载流子的浓度大于本征激发的电子浓度时,就会在薄膜内部形成空间电荷积累,即形成空间电荷区,此时空间电荷对薄膜中载流子浓度和电场分布产生影响,即产生了空间电荷限制电流,用公式表示为: 4.2.1.3 介质薄膜的电导特性 (2)普尔弗仑克尔(Poole–Frenkel, PF)发射机制 ——体内电导机制 由于薄膜中的正电荷、杂相和缺陷等在薄膜中形成了电子陷阱。电子和正电荷陷阱的作用形成了库伦势垒,分布在薄膜样品的导带和价带之间。在外加电场下,陷阱中的电荷被电离形成电子,在热激发下这些电子克服陷阱的库伦势垒高度而不断的在陷阱中心之间跳跃从而引起了漏电流,PF发射机制可以表示为: 4.2.1.3 介质薄膜的电导特性 (3)肖特基发射机制(Schottky emission) 肖特基发射属于面间电导,主要是由于当金属电极和薄膜样品为阻挡接触时,在薄膜和电极的界面处存在着肖特基势垒,外加电场时,肖特基势垒高度降低,使电子容易穿过势垒发射而形成电流,肖特基发射的理论公式为: 4.2.1.3 介质薄膜的电导特性 (4)福勒-诺得海姆隧穿机制(Fowler-Nordheim tunneling, FN) FN隧穿电流也称为电极隧穿注入电流,是一种面间电导,其原理是在金属-绝缘层-金属(MIM)结构中,电子在外电场的作用下,克服金属介质层的能量势垒,通过介质层到另一端的电极,产生的电流即为隧穿电流,此时MIM就构成了一个电子的隧道结,其理论公式为: 4.2.1.3 介质薄膜的电导特性 半导体薄膜的导电机理 本征半导体 掺杂半导体 高温下 本征半导体电阻率与温度的关系 4.2.1.3 介质薄膜的电导特性 电子电导率的影响因素 杂质及缺陷的影响 组分缺陷:非化学计量比的化合物中,由于化学成分的偏离,形成离子空位或间隙离子等晶格缺陷。 阳离子空位 (M1-xO):FeO, CoO, NiO等在氧化气氛下,由于氧过剩而形成。 阴离子空位:TiO2-x,在还原气氛烧结时,由于缺氧而产生氧空位。 间隙离子:Zn1+xO, 金属离子过剩形成。 4.
您可能关注的文档
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch02-3 Functions2.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch02-4 SquencesAndSummations2.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch02-4 SquencesAndSummations4.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch02-3 Functions4.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch03-1 3-3 3-5 3.6 CountingPermutationsAndCombinations2.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch03-1 3-3 3-5 3.6 CountingPermutationsAndCombinations4.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch03-2 3-4 PigeonholePrincipleAndBinomialCoefficients2.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch03-2 3-4 PigeonholePrincipleAndBinomialCoefficients4.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch04-1 4-2 4-4 RecurrenceRelationsAndGeneratingFunctions2.pdf
- Discrete Mathematic教学课件(华南理工大学)Ch04-1 4-2 4-4 RecurrenceRelationsAndGeneratingFunctions4.pdf
文档评论(0)