薄膜物理与技术精品课件（史鹏）CH4-5 surface and intereface.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 诺贝尔奖：Ernst Ruska，Gerd Binnig和Heinrich Rohrer（从左至右）分别因为发明电子显微镜和扫描隧道显微镜而分享1986年的诺贝尔物理学奖 AFM ??基本原理 Laser Sample XYZ Piezoelectric Scanner Position Sensitive Photodiode Mirror Tip Cantilever 扫描隧道显微镜简介 具有两维扫描功能的电流表 1. 隧道电流小(pA-nA) 隧穿电阻大(MΩ-GΩ) 2. 探针-样品距离小1nm 良好的机械振动和声音隔绝系统 电子学噪音小 3. 热漂移小 精密仪器设计、电子学和计算机自动控制 1. 实空间 2. 原子分辨（面内: 0.2nm, 垂直：0.01nm） 3. 工作环境： 超高真空、大气、溶液 4. 非周期结构 5. 扫描探针的家庭 6. 纳米榔头--原子操纵 STM的特点 Local Probes: family家族 Binnig Rohrer, Rev. Modern Phys. 71, S324 (1999) Scanning Near-field Optical Microscopy (近场光学显微镜) Scanning Near-field ACOUSTIC Microscopy (近场声学显微镜) Scanning Force Microscopy (SPM) Atomic Force Microscopy (AFM) （原子力显微镜） Magnetic Force Microscopy (MFM) （磁力显微镜） Electrostatic Force Microscopy (EFM) （静电力显微镜） Lateral Fiction Force Microscopy (LFM) （摩擦力显微镜） Scanning Thermal Microscopy (STHM) (热电势显微镜) Piezoelectric Force Microscopy (PFM) ( 压电力显微镜) Si(7 X 7)表面单胞二聚体-吸附原子-堆积错位模型 计算机模拟结果 movies Image from an STM Iron atoms on the surface of Cu(111) STM Images Iron on copper: patterned assembled using STM tip Standing waves caused by defects in copper I. Kibień , et al(2011): AFM Observations of Domain Structures in Thin Films of BiFeO3 , Ferroelectrics, 418:1, 76-81 * * * * * * * * * * * * * 2、非晶的电子态 仍可以用单电子理论（如前述）； 也存在导带和价带，之间也有禁带； 扩展态中载流子导电的机理和晶体中载流子的导电机理相似； 非晶中含有大量缺陷，伴随有悬挂键，在缺陷附近会形成定域态。 4.5.5 薄膜与非晶的表面与界面特性 3、非晶的导电特性 4、非晶态与晶态的相互转换 存在禁带中的定域态的导电和扩展态及尾部定域态的导电问题。即有三种态的不同的导电率。 非晶态------退火------晶态； 晶态------加热急冷或离子轰击------非晶态。 4.5.5 薄膜与非晶的表面与界面特性 镀层 镀层 基底 基底 对接缝 样品特征：基底（母材）薄，镀层为Al-Zn，金相腐蚀程度轻（未作重腐蚀程度） 示例 4.5.5 薄膜与非晶的表面与界面特性 外来粒子：包括电子、离子、光子、中性粒子及强电场。 利用外来粒子与表面作用后对表面产生的影响，以及从表面散射或产生的新粒子的信息，可以分析表面特性。这也是表面分析的理论基础。 表面特性：包括形貌、结构、组分、电子态等。 以下重点介绍电子与表面的作用。 4.5.6 外来粒子与表面的相互作用 一 电子与表面的作用 1、电子散射 单色能量的电子束 轰击 样品表面