氮化镓波膜光栅红外波段的光学调制.docVIP

摘 要 随着科学技术的不断发展，光学的研究也不断深入。波导膜光栅在现代光学的每个分支中都具有广泛的应用，新型的光栅已大量用于激光器、集成光路、光通信等方面。本课题对氮化镓波导膜光栅在红外波段的光学特性进行了研究。论文首先概述了光栅的相关内容和发展，亚波长光栅，微加工工艺，微机械加工系统，氮化镓材料的概述，基本特性等方面进行了相关介绍。然后我们用Rsoft软件中的DiffactMOD模块进行仿真计算，尝试用不同的物理参数组合进行仿真，仿真结果与实验测试的数据基本一致。并且通过光栅的角度扫描和厚度扫描，得到光栅的mapping反射图随着入射角度和薄膜厚度的变化对红外波段反射率的影响。本研究对研究氮化镓集成光电子器件有一定的指导意义。 关键字：光栅；亚波长光栅；微加工工艺；氮化镓；Rsoft软件； Along with the development of science and technology, the research of optics is deepening. The waveguide grating is widely used in every branch of modern optics,new type of grating has been used in laser device, integrated optical path, optical c