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超声波加工工艺论文 题目：超声波加工工艺 院系：机电工程学院 班级： 机械设计制造及其自动化 学号： 姓名： 超声波加工工艺 摘要：人耳能感受到的声波频率在20—20000HZ范围内，声波频率超过20000HZ被称为超声波。超声波加工（Ultrasonic Machining简称USM）是近几十年来发展起来的一种加工方法，它是指给工具或工件沿一定方向施加超声频振动进行加工的方法，或利用超声振动的工具在有磨料的液体介质或干磨料中产生磨料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀来去除材料，又或利用超声振动使工件相互结合的加工方法。 关键字：超声波 加工 精度高 效率高 1.1 超声波加工的基本原理 图1超声加工的原理图 超声波加工的原理如上图1所示，超声波发生器7产生的超声频电振荡通过换能器6产生20000 Hz以上的超声频纵向振动，并借助于变幅杆4把振幅放大到0．05～0．1 mm左右，从而使工具1的端面作超声频振动。在工具1和工件2之间注入磨料悬浮液3，当工具端面迫使磨料悬浮液中的磨粒以很大的速度和加速度不断的撞击、抛磨被加工表面时，把被加工表面的材料粉碎成很细的微粒，从工件上剥落下来。虽然每次剥落下来的材料很少，但由于每秒钟撞击的次数多达20000次以上，所以仍有一定的加工速度。与此同时，当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙内形成负压和局部真空，在工件液体内形成很多微空腔；当工具端面又以很大的加速度接近工件表面时，空泡闭合，引起极强的液压冲击波，从而强化加工过程。此外正负交变的液压冲击也使悬浮磨料的工作液在加工间隙中强迫循环，使变钝的磨粒及时得到更新。 由此可见，超声波加工是磨粒在超声振动作用下的机械撞击和抛磨作用以及超声波空化作用的综合结果，其中磨粒的撞击作用是主要的. 1.2超声波加工的特点 1）适合于加工各种硬脆材料。既然超声波加工是基于微观局部撞击作用，所以材料越是脆硬，受撞击作用所遭受的破坏越大，愈适应超声波加工。例如玻璃、陶瓷、石英、石墨、玛瑙、宝石等材料，比较适合超声波加工。相反，脆性和硬度不大却具有韧性的材料，由于具有缓冲作用而难以采用超声波加工。因此，选择工具材料时，应选择既能撞击磨粒，又不使自身受到很大破坏的材料，例如不淬火的45钢等。 2）由于工具材料较软，易制成复杂的形状，工具和工件又无需做复杂的相对运动，因此普通的超声波加工设备机构简单。但若需要加工较大而复杂精密的三维机构，可以预见，仍需设计和制造三坐标数控超声波加工机床。 3）由于去除加工材料是靠极小磨粒瞬时局部的撞击作用，故工件表面的宏观切削力很小，切削应力、切削热很小，不会引起变形及烧伤，表面粗糙度值可达1.0—0.1，加工精度可达0.01—0.02mm，并可加工细小结构和低刚度的工件。 2.超声波加工设备及其组成部分 超声波加工设备一般包括超声波发生器、超声波振动系统、机床本体和磨料工作液循环系统。 2.1超声波发生器 超声波发生器将50HZ工频交流电转变为有一定功率输出的超声频电振荡，以提供工具端面往复振动和去除被加工材料的能量。其基本要求是输出功率和频率在一定范围内连续可调，最好具有对共振频率自动跟踪和自动微调的功能。此外还要求结构简单、工作可靠、价格便宜和体积小等 2.2超声波振动系统 超声波振动系统的作用是把超声频电振荡转变为机械振动，使工具端面获得高频率及一定振幅的振动。它是超声波加工机床中最总要的部分，由换能器、振幅扩大棒及工具组成。 超声波换能器 换能器的作用是把高频电能转变为机械能，目前实现这种能量转换常采用压电效应和磁致伸缩效应两种方式 如振幅扩大棒 压电或磁致伸缩的变形量很小（即使在共振条件下振幅也不超过），不足以直接用于加工。超声波加工的振幅，因此必须通过一个上粗下细的棒杆将振幅加以扩大，此棒杆称为振幅扩大杆，亦称变幅杆，图7所示。 图6 磁致伸缩换能器 图7 几种变幅杆 变幅杆能扩大振幅，是由于通过它每个截面的振动能量是不变的（略去传播损耗），截面小的地方能量密度大，振幅也大。 为了获得较大的振幅，应使变幅杆的固有振动频率和外激振动频率相等，处于共振状态。为此，在设计、制造变幅杆时，应使其长度L等于超声振动的半波长或整数倍。必须注意，超声波加工时并不是整个变幅杆和工具都是在作上下高频振动，它和低频或工频振动的概念完全不一样。超声波在金属棒杆内主要以纵波形式传播，引起杆内个点沿波的前进