第二章-透射电子显微镜试样制备方法.pptVIP

2.3.1 金属块体制成薄膜试样 由块体试样制成薄膜试样一般需要经历以下3个步骤： 利用砂轮片、金属丝或用电火花切割方法切取厚度小于0.5 mm的“薄块”。对于陶瓷等绝缘体则需用金刚石砂轮片切割。 用金相砂纸研磨或采取化学抛光方法 ，把薄块预减薄到0.05～0.1 mm左右的薄片。 用电解抛光的方法进行最终减薄，在孔洞边缘获得厚度小于500 nm的“薄膜”。 2.3.1 金属块体制成薄膜试样 表2.2 金属材料预减薄用的化学抛光配方 材料 溶液 配方 备注 铝和铝合金 (1) 40%HCl+60%H2O+5g/L NiCl2 (2) 200g/LNaOH水溶液 70℃ 铜 (1) 80%HNO3+20%H2O (2) 50%HNO3+25%CH3COOH+25%H3PO4 20℃ 铜合金 40%HNO3+10%HCl+50%H2O 镁和镁合金 稀HCl酒精溶液 6%HNO3+94%H2O 体积分数2%～15％ 3℃ Ni钢和不锈钢 50mL60%H2O2+50mLH2O+7mLHF 将试样放在H2O2溶液中，然后加HF直到开始反应。制取100 nm厚度的薄膜，而后用标准的铬酸?醋酸溶液电解抛光方法 铁和钢 30%HNO3+15%HCl+10%HF+45%H2O 50%HCL+10%HNO3+5%H3PO4+35%H2O 34%HNO3+32%H2O2+17%CH3COO