12 辐射式传感 红外 超声 SAW.ppt

* 高于2×10000Hz的机械波为超声波 * 超声清洗：/pro_cs_01.htm * 声表面波（Surface Acoustic Wave，SAW）是一种沿弹性基体表面传播的声波，其振幅随压电基体材料深度的增大按指数规律衰减。 ??? 早在1885年英国物理学家瑞利（Lord Rayleigh）根据对地震波的研究，首次提出了声表面波。这就是现在广为人知并以他的名字命名的瑞利波。它是能量集中于固体表面，并沿表面传播的弹性波。 ??? 随着后来人们对这种波性质认识的不断深入，特别是1965年出现的能在压电材料表面激励声表面波的叉指换能器（IDT），大大促进了声表面波技术的发展与应用。 ??? 1979年Wohltjen和Dessy首次提出了将声表面波SAW用作气体传感器，经过20年的研究与发展，目前已研制出SO2、NO2、H2S、水蒸气、丙酮、甲醇等多种SAW气体传感器，广泛应用于有害气体环境监测、临床分析、雷达通讯、电子对抗等军用、民用领域。 当电压加到叉指电极上时，由于压电效应，在表面产生一个相应的弹性形变。由IDT激励的声表面波沿基片表面传播。当基片或基片上覆盖的敏感材料薄膜受到被测量调制时，声表面波的频率将改变，并由接收叉指电极测得。 * SAW谐振器结构是将一个或两个叉指换能器（IDT）置于一对反射栅阵列组成的腔体中构成的。谐振器结构采用一个IDT时称为单端对谐振器，采用两个IDT时称为双端对谐振器。反射栅阵列能够将一定频率的入射波能量限制在由栅条组成的谐振腔内。 * * 工作频率高、信息载体信号(电磁—机械运动)能量集中、运动的表面化(易于工艺处理)、微细线条加工工艺成熟等原因，使得SAW成为各类传感器当前研究的热门，近年在应用上取得突破性进展，成为当前信息敏感的标志性技术之一。 * 表面声波(SAW）技术可以用作应变传感器，它重量轻(2克），体积小，坚固耐用，可循环使用，无需电池，支持无线传输。SAW传感器能够检测出EPS操控与动力系应用中的扭矩和温度，以及TPMS系统中的压力和温度。SAW尤其适合于监测旋转部件或者那些接触起来很难或很危险的部件。 * SAW化学传感器是继半导体传感器和光纤传感器之后的新秀。SAW化学传感器依据不同的基底材料、不同化学薄膜可以检测SO2、H2、NH3、H2S、NO2、丙酮、甲醇、水蒸气、等多种化学成分。因此可广泛用于大气环境监测、化工过程控制、汽车排放尾气控制、毒品检测、临床分析等领域。这种传感器还可以检测破坏人体神经、血液的毒气，包括Sarin（沙林）、Soman（梭曼）、VX、Mustard（芥子气）、Nitrogen Mustard（氮芥）、Hydrogen Cyanide（氰化氢）、Cyanogen Chloride (氯化氰)、Lewisite（刘易士毒气）、有机磷、有机硫等化学战剂。 * 发展SAW信息敏感技术包括四个关键技术：1SAW信号处理转换技术;2化学/SAW敏感（膜）技术;3综合信号处理及检测技术;4系统技术。 1、SAW信号处理转换技术 敏感参数的选择;?(2)?SAW振荡器类型的选择;?(3)?声波种类的选择等 2.化学敏感膜技术 (1)选择性吸附膜的研制;(2)?选择性吸附膜的制备工艺等 3?综合信号处理技术 声表面波微声信息敏感器是以SAW模拟信号处理器为基础的传感器,它对外界量、压力、温度、湿度、电压、负载等各类物理、化学、生物气相、液相量均要产生敏感即一个SAW敏感头所对外界量到电信号的转换过程为,而SAW传感器的最终目的是要以SAW敏感器中得到的电信号E(P,T,H,V…)中分解出E(P),E(T),E(H),E(V)…,即解析出： E(P,T,H,V…)=g[E(P),E(T),E(H),E(V)…,]…???????(1) 解出相应的外界量的变化量P,T,H,V,……。 4．系统设计应用技术研究 SAW信息敏感器不是一个单独的信号处理的芯片。它是一个有具体实用环境的人机系统。因此,它的设计必须考虑如下因素：1面对一般干扰环境因素;2面对的恶意干扰环境因素;3人机界面接口;4参数的自我收敛性能;5内、外交流性能(各类信息、能量的交流)等等,这些因素如果在该系统设计之初能充分分析、融合进设计中,那么研制的产品才有生命力,才有实用价值。  Xi’an Jiaotong University 超声波传感器的应用 超声波测厚仪 超声波探伤仪 超声波探伤 Xi’an Jiaotong University 超声波测厚 常用脉冲回波法。超声波探头与被测物体表面接触，主控制器产生一定频率的脉冲信号，脉冲波传到被测工件的另一面被反射回来，被同一探头接收。如果超声波在工件中的声速v