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压力变送器文献综述 前言 变送器是工业现场重要的底层自动化设备之一, 可实现物理信号的测量和变换处理。传统的变送器是4~ 20 mA 模拟信号的二线制变送器, 接收传感器敏感元件获取的被测量, 并将其转化为国际标准信号传送出去。智能变送器是在变送器内部直接使用微处理器芯片, 对被测物理量进行数字化处理, 并增加数字通信接口, 可直接与计算机进行数字通信, 与传统变送器相比, 更加符合现场总线控制系统对变送器的要求。[1]本文通过对几种国内外智能压力变送器参数的比较及其评价，概述压力变送器目前的国内外发展情况并对未来的发展做一展望。 几种压力变送器 一般意义上的压力变送器主要由测压传感器（也称作压力传感器）、和过程连接件三部分组成。它能将测压元件传感器感受到的气体、液体等物理压力参数转变成标准的电信号（如4~20mADC等）， 以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节。 （1）技术指标 3051C型差压，表压与绝压变送器 精度0.04%，量程比100：1 差压：校验量程从0.1inH2O至2000psi 表压：校验量程从2.5inH2O至2000psi 绝压：校验量程从0.167psia至4000psia 稳定性：+-0.125%URL，5年，在温度变化+-50℉ （28℃），静压最大为1000psi(6.9MPa)条件下 过程隔离膜片：不锈钢，哈氏合金C，蒙乃尔,钽（仅 限CD,CG）及镀金蒙乃尔，镀金不锈钢 3051T型表压与绝压变送器 精度：0.04% 绝压：校验量程从0.3至10000psia 表压：校验量程从0.3至10000psia 稳定性：+-0.125%URL，5年，在温度变化+-50℉ （28℃），静压最大为1000psi(6.9MPa)条件下 过程隔离膜片：不锈钢，哈氏合金C 灌充液：硅油与惰性液[2] （2）测量原理 在工作时, 被测介质的2种压力通入高、低2压力室, 作用在δ元件(即敏感元件)的2侧隔离膜片上, 通过隔离片和δ元件内的填充液, 将压力传递到传感器中心的传感膜片上。传感膜片是一个张紧的弹性元件, 其位移随所受压力而变化, 传感膜片的最大位移量为0. 1 mm, 且位移量与压力成正比。2侧的电容极板检测传感膜片的位置,传感膜片和电容极板之间电容的差值被转换为相应的电流, 传感器的检测信号经模数转换后周期地读入微处理器, 经综合运算处理, 完成精确的对应压力, 差压, 静压计算, 经数模转换产生4 ~20 mA信号。变送器信号转换原理见图1。 图1 变送器信号转换原理图 压力变送器的工作原理和差压变送器相同,所不同的是差压变送器的高、低2 压力室是被测介质作用产生的压力, 压力变送器的低压侧始终保持一个参考压力(一般为大气压)。[3] （3）产品特点 新型罗斯蒙特3051CD差压变送器的性能指标保证在不同工况下的精度和稳定性。灵活可变的CoPlanarTM平台设计不但为您目前的应用需求提供最佳方案，同时通过PlantWeb工厂管控网和现场总线技术也完全能满足您将来的技术要求。罗斯蒙特3051CD差压变送器小巧而质轻的共面设计，具有最佳性能，对现场的库存要求最低，是进口压力变送器中的典范。3051差压变送器采用301/305/306阀组,可节约安装费用20%以上。因为罗斯蒙特公司可将Rosemount变送器/阀组在工厂一体化安装。2）横河EJA430A （1）技术指标 参考精度：+-0.065% 量程：M：4~400inH2O A：4.3~430 inH2O B：20~2000 inH2O 稳定性：+-0.1%量程上限/60个月 环境温度影响：总影响量/28℃（50℉） +-[0.084%量程+0.017%量程上限] 电源影响：+-0.005%/V（21.6V~32V DC，350Ω）[5] （2）测量原理 利用硅谐振传感器。硅谐振传感器是对单晶硅采用技术完善的3-D半导体微机械加工技术制作而成。在传感器上微加工两个H型振子，均具有高频输出。施加压力时，H型振子同时受力，一个受到压力，另一个受到拉力。谐振频率发生相应的变化，从而产生与作用压力直接成比例的高差压输出(kHz)。这一简单的时间函数由微处理器管理。 （3）产品特点 横河川仪智能变送器率先采用真正的数字化传感器——单晶硅谐振式传感器，开创了变送器的新时代。产品具有更高精确度、稳定性、可靠性。为迎接现场总线时代的来临，横河川仪已推出经基金会测试认证的符合FF标准的现场总线变送器。[7] 微机械处理单晶硅，可以