第八篇 表面分析法新.pptx

第八章 表面分析法简介;一、表面的概念;表面分析是指对表面及微区的特性和表面现象进行分析、测量的方法和技术，主要提供三方面的信息。;表面形貌分析; 电子显微镜技术（electron microscopy） 电子显微镜是以电子波作为光源，电磁场作透镜，利用电子散射过程产生的信号进行显微成像的大型仪器设备。 ;;发展史;日立公司H-700透射电子显微镜是20世纪70年代的产品，其分辨率为0.34nm，加速电压为75～200kV，放大倍数是25万倍。;Philips CM12 透射电子显微镜;PhilipsCM200-FEG场发射枪透射电子显微镜;HT7700作为全球畅销的日立TEM H-7000系列的最新机型，分辨率为0.204nm。特点之一是将TEM操作统一于显示器上，无需直视荧光板，实现了无胶片化；直接继承了日立120KV-TEM的基本理念，即低倍率与宽视野观察、高对比度与高分辨率观察和低剂量观察。;; 由电子枪发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之会聚成一束尖细明亮而又均匀的光斑，照射在样品室内的样品上。 透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，样品内致密处透过的电子量少，稀疏处透过的电子量多。 经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像。 最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上。荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。 ;电子枪：发射高能电子束，提供光源； 聚光镜：将发散的电子束会聚得到平行光源； 样品杆：装载需观察的样品； 物镜：电镜最关键的部分，起到聚焦成像一次放大的作用 中间镜：二次放大，并控制成像模式（图像模式或者电子衍射模式）； 投影镜：三次放大； 荧光屏：将电子信号转化为可见光，供操作者观察； 底片盒：传统的底片照相； CCD相机：先进的电子相机，拍照效率比传统底片高很多。 ;样品支撑网格;SHPSiO2 基底表面沉积9h 的铁氢氧化物薄膜平面透射电镜照片。 a: 低倍照片, Bar= 200 nm; b: 单个SiO2 微球照片, Bar= 50 nm; c, d: SiO2 微球表面不同区域的高分辨照片, Bar= 5 nm;;电子显微镜下的蚊子;在透射电镜中电子束穿透薄样品，携带着样品信息???大成像。 在扫描电镜中，电子束入射到块状样品，与物质相互作用，激发出二次信号，对其中的二次电子和背散射电子等物理信号收集放大成像。;背散射电子:它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子。背散射电子的能量比较高，其约等于入射电子能量 E0。; 扫描电镜的构造 ;;特点 ;3. 扫描隧道显微镜;使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理、化学性质。 在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广阔的前景，被国际科学界公认为二十世纪八十年代世界十大科技成就之一。 1986年，STM的发明者宾尼和罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖。;显微镜类 型; 具有原子级高分辨率。 可实时地得到在实空间中表面的三维图象。 可观察单个原子层的局部表面结构。 可在真空、大气、常温等不同环境下工作，甚至可将样品浸在溶液中，并且探测过程对样品无损伤。 配合扫描隧道谱STS(Scanning Tunneling Spectroscopy)可以得到有关表面电子结构的信息。;基本原理; 对于经典物理学来说，当一粒子的动能E低于前方势垒的高度V0时，它不可能越过此势垒，即透射系数等于零，粒子将完全被弹回。而按照量子力学的计算，在一般情况下，其透射系数不等于零，也就是说，粒子可以穿过比它的能量更高的势垒，这个现象称为隧道效应。; 根据量子力学的波动理论，粒子穿过势垒的透射系数 由式中可见，透射系数T与势垒宽度a、能量差（V0-E）以及粒子的质量m有着很敏感的依赖关系，随着a的增加，T将指数衰减。 ; 由前式可知，隧道电流强度对针尖和样品之间的距离有着指数的依赖关系，当距离减小 0.1nm，隧道电流即增加约一个数量级。 因此，根据隧道电流的变化，我们可以得到样品表面微小的高低起伏变化的信息。 ;应用;用STM移动氙原子排出的“IBM”图案;4. 原子力显微镜;AFM的主要功能同STM一样。一般而言，STM适于研究导体样品，而难于研究绝缘样品，由此发展起来的AFM克服了STM的局限性，对导体和非导体样品都适用； 由于工作原理和仪器结构不同，AFM分辨本领要略低于STM，且灵敏度和稳定性均不如STM。; 相对于扫描电子显微镜，原子力显微镜具有许多优点。不