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第七章 激光扫描技术 一、按光路布置分类 （一）直接扫描系统（扫描光线不通过物镜），如图7-1所示。设Y为沿着扫描方向的坐标。 特点： ① 象方主光线//光轴； ② 采用f—θ透镜时，扫描速度V恒定； ③ 扫描范围小（略小于扫描物镜口径）； ④?象、物工作距离恒定； 用途： ①?激光扫描测径 ②?激光扫描衍射对准 一、测量原理：（图7-16） 计量激光光斑扫描待测物体时所经过的时间T，从而得出被测物的几何尺寸的一种测试技术，即：d=VT §7-3 激光扫描测径系统 图7-16 *对光学系统的要求 1、扫描主光线∥光轴——即采用远心扫描系统 2、在测量面上扫描光点的扫描速度恒定，即V=常数 设转镜角速度为w 上式中：v和t为非线性关系，欲使v与t为线性关系，即满足 ，则可将扫描物镜设计成f-θ透镜。 此时，测径方程为： 式中：N——计数器所计脉冲个数， fT——晶振频率，（次/秒）， *采取的措施： （1）设计f-θ透镜，使物镜产生一负畸变来补偿原扫描系统的非线性。 （2）转镜转速n0恒定 3、时间T计量的准确性： （1）光电瞄准误差（工件边缘提取的准确性）： 图7-17 如图7-17，若用固定电压V0比较，则会因扫描光能量的变化而导致产生光电瞒准误差。解决办法：“浮动阈值法”。 二、激光扫描测径光学系统 1、会聚光斑扫描（图7-18） 图7-18 2、平行光扫描（图7-19） 图7-19 注意两个问题： （1）入瞳漂移问题：图7-18和图7-19所示系统具有较小的入瞳漂移量。 （2）实际相对孔径： 四、设计中几个问题的讨论 1、最小脉冲当量δ δ的确定：一般取测量精度的 , 如测量精度为20μ，则δ=4~2μ。 由测径公式： 则脉冲当量为： 例：设n=1500秒/分=25转/秒，?′=145mm 若取δ=2.5×10-3 MM 实际中取晶振频率为：fT=18.432MHz， 2、多面转镜的面数m 由确定的电机转速n和测量频率fN定 即fN=n·m，设fN=200次/秒，n=25转/秒 则m=fN/n=200/25=8（面体） 3、工件振动对测量精度的影响：（图7-20） 图7-20 设工件振动为简谐振动，振幅为A，振动频率为ν 则振动方程： 其速度方程为： 扫描光点与振动工件的相对扫描速度为： 其中：V0为光点恒扫描速度， 则此时工件的实际测量尺寸为： 其中D0为工件无振动时所测值，ΔD为工件振动带来的附加测量误差值，其最大测量误差值ΔDmax发生在Vzmax处。 令速度方程中Cos2πυt=1（在平恒位置t=0处） 最大测量误差 结论（1）：ΔDmax与A，ν，D成正比 与n0， ?′成反比 例： n0=25转/sec， ?′ =145mm * * §7-1 激光扫描系统的分类 图7-1 特点： （1）扫描范围大 （2）工作距离在不断改变： （3）物面扫描速度不均匀： 用途：激光雷达、红外遥感——远距离扫描，（ H ） （二）物镜扫描系统（扫描光线通过物镜），如图7-2所示 （1）远心扫描系统： ，出瞳在无究远。 图7-2 图7-3 （2）非远心扫描系统：（如图7-3） 特点： ① 象方扫描主光线不平行光轴 ② 扫描视场大 用途：激光打印、激光热处理、激光划线 （3）大工作距扫描系统：（如图7-4） 图7-4 一、光学扫描器 1、光学平行平板扫描器（图7-5） §7-2 各类扫描器（使光点在扫描平面内产生位移的器件） 图7-5 将以上式用马克努林级数展开，且α角很小时， 设n=1.52，α为旋转角度（°） 例α=5°时， 2、单光楔扫描器 （1）直线扫描器： 如图7-6 a）示，光线通过光楔的偏向角δ： 当i=0