发光材料和器件基础_第六章.pptVIP

电信系光电工程专业 发光材料与器件基础 西安邮电学院电信系光电工程专业 第六章 等离子平板显示（PDP） 第六章 等离子平板显示（PDP） 第六章 等离子平板显示（PDP） 主要内容 等离子体是物质的第四态 等离子体的分类 Plasma TV Screen 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 彩色AC-PDP的的制造材料和工艺 电信系光电工程专业 丝网印刷原理示意图 丝网印版（a. 网框, b. 丝网上非图文部分(简称版膜), c.丝网上图文部分）2.刮板3.浆料4.基板 丝网印刷的工艺流程： 丝印制版?丝网印刷?浆料烘干?浆料烧结 用丝网印刷法制作PDP的各个部件，其质量取决于多种因素： （1）浆料方面 浆料的性质、成分、颗粒度及均匀性、载体材料、粘度及触变性等。 电信系光电工程专业 （2）基板方面 基板材料、尺寸精度、平整度和光洁度等。 （3）刮板方面 刮板材料的种类、硬度、形状等。 （4）丝网方面 丝网材料的种类、性质、丝网目数、丝网线径、丝网张力、版膜的种类、框架平整度、框架与网线夹角等。 （5）印刷方式方面 印刷接触角、印刷压力、印刷速度、印刷间隙等；在印刷环境条件方面，有温度、湿度和清洁度等。 （6）其他方面 干燥时间和温度以及烧结工艺等。 电信系光电工程专业 印刷工艺的优点： 具有设备低价，工艺简易，生产率高、成本低等优点。主要用来制造汇流电极、寻址电极、介质层、荧光粉层、障壁、封接层等部件。 缺点： 与光刻技术相比，印刷工艺的缺点是精度较差，分辨率不易做高。 电信系光电工程专业 前基板的关键制造工艺 (一)透明电极的制作 ITO连续薄膜的形成： 电信系光电工程专业 光刻出ITO 电极图形： 电信系光电工程专业 (二)汇流电极的制作 富士通公司采用Cr-Cu-Cr薄膜材料制作汇流电极。 底层Cr用来增加电极和玻璃基板的附着力，顶层Cr用来防止Cu的氧化，Cu是电极导电的主体。Cr和Cu薄膜用溅射法制作 特点： 图形精细准确，边缘整齐 导电性能优良， 但其制作工艺复杂，成本较高 电信系光电工程专业 采用厚膜技术制作汇流电极的方法： （1）丝网印刷法 把金属浆料印刷在透明ITO膜的边缘上，再经高温烧结而成。这是厚膜技术中普遍采用的制作方法，最常用的金属浆料是Ag浆料。 （2）厚膜光刻技术 使用的材料是光敏Ag浆料（主要由颗粒极细的Ag粉和感光树脂构成），用丝网印刷的方法形成几微米厚的连续膜层，然后用光刻法形成电极，最后经烧结而成。 电信系光电工程专业 (三)上基板介质层的制作 要求 : (1 )透过率高。 (2 )烧成膜表面光滑、致密、无丝网印刷痕迹 。 (3 )绝缘性要求比下板更高。 (4)与电极反应小。 (5) 与玻璃附着牢固。 电信系光电工程专业 (三)障壁的制作 障壁高度一般在100?200?m的范围。主要制作技术有： 1．丝网印刷 优点： 材料浪费少，材料成本低。 缺点： 工艺步骤多，制作时间长，对位要求严格，而且要求操作人员有熟练的技术，以及对印刷设备的性能、浆料性能、环境对丝网的影响等有全面的了解，所以制作工艺复杂。 电信系光电工程专业 Photograph of the top shape of the printing rib before polishing 电信系光电工程专业 2．喷砂法 由于采用光刻中的曝光技术，障壁尺寸一致性好，目前障壁的宽度实验室可做到30?m，生产上做到70?m，有利于器件开口率的提高。 喷砂法仅需和寻址电极对准一次，制作大面积器件时失配的问