周铁英超声电机的发展及展望.docVIP

超声电机的发展与展望 周铁英 陈宇 (清华大学物理系, 北京 100084) 1 引言和回顾 超声电机是利用压电材料的逆压电效应制成的新型驱动器。它由定子、转子以及施加预 压力的机构等部件构成。把超声频交变电压加在压电陶瓷上可以在定子表面产生超声振动， 通过定子与转子之间的摩擦力驱动转子运动[1-2]。超声电机是多学科交叉的学科，它集超声 学、振动学、材料学、摩擦学、电子学和控制科学为一体，需要众多领域合作研究。与电磁 电机相比，超声电机的主要特点包括：1、大力矩低转速，不需减速机构；2、能量密度大， 可达电磁电机的 3－10倍；3、响应速度快，仅 ms量级；4、定位精度高；5、无电磁干扰； 6、因靠摩擦驱动，具有自锁功能。 国际上第一个超声电机的发明专利是 1942 年美国人 Williams 和 Brown 申请的，该专 利 1948年授权[3]。1982年日本成功地开发出行波型超声波电动机, 仅在 5至 7年之后，佳 能、新生等几家日本公司就把超声波电动机推向市场，其中相机和打印机最为成熟。近期 FUKOKU、ASUMO、精工仪器、佳能精机、京瓷、奥林巴斯光学工业、 MITSUBA， SIGMAPHOTO（适马镜头）等单位都引入了超声电机的研发。图 1是 1998年日本超声电机 投放市场的分布图[4]，其中照相机和工业机械的市场占有率为 88.2%，医疗器械 5.9%，汽 车电器 3.6%。 1.5 0.7 3.6 5.9 照相机 工业机器 医疗器械 汽车 22.6 住宅设备 其他 65.6 图 1 1998年日本超声电机投放市场的分布图 如图 1所示，日本用于照相机调焦的主要超声电机是佳能使用的行波型和摇头型，有数 百个专利，基本形成市场的垄断。现在, 除了日本之外, 美国、德国、法国、瑞士、韩国、 土耳其、新加坡等都有超声电机产品进入市场。美国的一些著名大学, 如 Stanford、Wisconsin、 Berkeley、Penn. State等都投入很多力量研究超声电机。美国国防部门也投入很多人力物力 从事超声电机的研究。美国某些公司生产的超声电机产品已经在航空航天、半导体工业、 MEMS、和 BioMEMS等领域先后得到应用。 中国的产业化进程相对缓慢。 我国超声波电动机的研究是从 80 年代末、90 年代初开 始的，大致经历了跟踪学习、自主开发、实际应用推广 3个发展时期。1985年到 1991年间， 国内学者开始撰写文章介绍超声波电动机[5，6]， 1989 年清华大学和上海大学分别研究开 发出了压电蠕动型超声波致动器，哈尔滨船舶工程学院研制了环形超声电机 [7,8]，1993年  浙江大学试制了行波型旋转超声波电动机，1994 年南京航空航天大学成立超声电机研究小 组，并于 1995年研制成功输出力矩和速度较稳定的环型行波型超声波电动机。1997年南京 航空航天大学成立了超声电机研究中心，仅比美国宾州大学的换能器和驱动器研究中心晚 5 年[9,10]。我国的超声电机事业在国家自然科学基金的支持下，进行了应用基础研究和关键 技术研究[11,12]，迄今得到长足的发展。 2我国超声电机从模仿进入独创的阶段 经过 10年的努力，中国制造的行波型旋转超声波电动机的主要性能指标，除效率以及 耐久性之外，已经非常接近日本新生工业公司的产品样本值了。表格 1显示了南京航空航天 大学、东南大学、浙江大学和新生工业的超声波电动机的性能比较。 表格 1 开发者 名称 无负荷转数 最大力矩 额定转数 额定力矩 (rpm) 250 150 200 140 140 110 300 150 (mN-m) 100 (rpm) 180 100 150 80 (mN-m) 50 南京航空航天大学 南京航空航天大学 东南大学 TRUM-30 TRUM-60 UMT30 UMT60 UMT30 UMT60 USR30 1200 100 500 60 东南大学 800 500 60 浙江大学 100 120 75 浙江大学 900 500 50 新生工业 100 250 100 新生工业 USR60 1000 500 除了行波型之外，纵扭复合振子型、弯曲模态回转型、模态变换型、复合模态型、双转 子型、非接触型以及自校正步进型等各种各样的旋转超声波电动机也正在研究开发。表格 2 介绍了现在正在开发的旋转超声波电动机，其中浙江大学的大力矩型性能突出：直径 80毫 米的纵扭型电动机的最大力矩可以达到 13Nm[13]。在原理和结构的创新方面，清华大学始 终走在国内各单位前列，迄今共申请并获得批准的发明专利约 20 项，实用新型专利约 10 项，申请并公开的发明专利约 20项。