管式PECVD设预防性维护手册.ppt

管式PECVD设备预防性维护手册 1.检查生产石墨舟情况 注意： 检查时必须戴上保护手套,避免烫伤或污染石墨舟 1.检查生产石墨舟情况 每天需检查舟工艺点状况。生产中如果发生有碎片的,必须检查工艺点状况和清理掉碎片。硅片接触不好或结板间硅片引起短路将影响镀膜质量或损坏射频电源。 检查舟电结孔，如果不黑，需用专用清洁布擦干净。用N2气枪吹掉粉状物。 如果舟到清洗次数或明显很涨，需湿洗。硅片镀膜后工艺点大，舟需更换工艺点。 2.清除设备内部的电池碎片 注意：吸尘器电源插头只能插在外部电源插座或者另外提供的插座上。 严禁把吸尘器的电源插头连到设备特气柜的插座上。 2.清除设备内部的电池碎片 使用的吸尘器必须符合DIN EN 60335-2-69/IEC 60335-3-69标准，清除有效率要大于99.995﹪ 使用吸尘器清除设备上料部分的电池碎片。 3.检查所有的Protocol信息 检查CESAR电脑内Protocol信息:包括CMS报警和Device报警.消除报警原因.在这里可以得到预先的产生更严重报警的信息. 4.在CMI电脑上检查所有加热区的加热电流情况 在CMI电脑的加热电流显示栏检查加热电流的情况 1.检查所有的风扇和超温保护功能 注意:只有受过资格认证的人员才能被允许去进行关于电方面的工作. 电源终端位于加热炉体电阻以及变压器超温保护区域,会危及生命.没有任何理由可以在它们工作的时候去触摸它们.在测试完高温监控保护功能后别忘了要恢复到最初的控制温度. 1.检查所有的加热区域是否每20-30 s循环周期监控超温. 2.认真的检查每个加热炉体上的外部热电偶. 3.检查加热电源是否能在检测到超温后自动切断 --断开加热炉体上的外部热电偶 --加热必须自动切断 --观察加热电源表现,加热继电器必须自动切断,可以听到切断的声音. 4.检查加热电阻的超温保护功能. --将温度控制器的信号线拔除. --加热必须被切断. --观察加热电源表现,加热继电器必须自动切断,可以听到切断的声音.完成测试后重新插上信号线. 5.检查变压器高温报警功能 --将变压器高温报警控制器的信号线拔除 --CMI界面必须显示出一个报警信息.完成测试后重新插上信号线. 6.检查所有的风扇的运行情况,更换问题风扇,避免冷却风不够导致温度过高损坏电子元器件. 2.在CESAR电脑上比较温度实际值和设定值 比较显示温度的实际值和设定值.平均偏移可能没有超过公差±2℃.如果超过就按照如下操作: 1.检查测温模块. 2.检查加热电阻 2.在CESAR电脑上比较温度实际值和设定值 3.检查热电偶 4.检查固态继电器(SSR) 5.检查保险丝 6.检查变压器 3.检查上料机构的状况 注意:有损坏的陶瓷/石英部件必须要更换,防止留在设备内损坏电池片. 3.检查上料机构的状况 检查石英和陶瓷制品,例如上料机构的桨等是否有裂缝和损坏.更换损坏的陶瓷/石英制品 检查桨上部件是否有异常. 4.检查冷却盒的过滤器 检查过滤器是否有污染物,如果有就清理.查看冷却风的流量是否足够. 5.检查特气柜的抽风 1.待炉门口特气管中残余气体抽干净.然后才能检查. 2.使用流量检测工具检查抽风的量.必要时调节. 5.检查特气柜的抽风 3.检查炉门口的冷却水是否漏. 4.检查特气抽风的腐蚀情况和沉积物情况. 6.检查水平炉体情况 有损坏的石墨/石英部件必须要更换,防止留在设备内损坏电池片.机器盖子在设备使用期间必须关上.保证冷却系统工作正常有效. 6.检查水平炉体情况 1.检查以下设备部件是否有裂缝: 6.检查水平炉体情况 --石英工艺管尾端 --炉门端口 --热电偶的石英套管,从气柜侧观察和更换 6.检查水平炉体情况 --内部抽气管(超压排泄管) --特气Y型喷头(炉门口) 6.检查水平炉体情况 --气柜侧和工艺石英管有连接的地方 2.使用流量检测仪器检查水平炉体的背面和下方两边的冷却风循环力度.立刻更换损坏的风机. 7.检查设备特气柜 1.使用流量测试仪器检查抽风的吸力强度 2.检查每一个压力表的读数和调压阀设定： 7.检查特气柜 --O2和N2压力为2-3bar --SiH4为1-1.5bar --NH3为1-2bar(注氨气压力受温度影响,设备不使用氨气时压力表有时偏高,在设备正常使用氨气时检查). --压缩空气压力为6-7bar 8.检查气动设备 检查每个压力表的调压阀的设定.具体数值查看:12.2—12--1 9.检查真空泵的设定 检查如下设定: --电机电流 --N2流量 --润滑油的液位 9.检查真空泵的设定 --真空泵 的温度 --冷却水流量