NO3项目三 精密位移检测系统 《传感器与检测术》教案.doc

教学目标 知识目标： 能力目标：素质目标： 教学重点 教学难点 教学手段 理实一体 实物讲解 小组讨论、协作 教学学时 教 学 内 容 与 教 学 过 程 设 计 注 释 〖〗 图3-1 电容式传感器 1.电容式传感器的分类 1）变面积型电容传感器 图3-2 电容传感器的形式 2）极距变化型电容传感器 如图3-3（a）所示，如平行电容器两个极板间覆盖面积和极间介质不变，则其电容量C与极距呈现非线性关系。灵敏度与极距二次方成反比，极距越小则灵敏度越高，如图3-3（b）所示。 图3-3 极距变化型电容传感器结构与特性 在实际应用中，为了提高传感器的灵敏度和稳定性，常常采用差动式结构，如图3-4所示。 图3-4 差动型极距电容传感器结构与特性 2．电容式传感器的测量电路 1）等效电路 电路电容式传感器的等效电路如图3-5 所示。图中考虑了电容器的损耗和电感效应，Rp为并联损耗电阻，它代表极板间的泄漏电阻和介质损耗。这些损耗在低频时影响较大，随着工作频率增高，容抗减小，其影响就减弱。Rs 代表串联损耗，即代表引线电阻、电容器支架和极板电阻的损耗。电感L 由电容器本身的电感和外部引线电感组成。 图3-5 电容式传感器的等效 2）测量电路 （1）调频测量电路。图3-6所示的是调频式测量电路原理框图。 图3-6 调频电路的测量原理 （2）运算放大器式测量电路。 运算放大器的放大倍数很大，输入阻抗Zi 很高，输出电阻小，所以运算放大器作为电容式传感器的测量电路是比较理想的。 3.电容式传感器的特点与用途 电容式传感器的特点如下。 （1）小功率、高阻抗。电容传感器的电容量很小，一般为几十到几百皮法，具有较高的输出阻抗。这种阻抗对后续电路影响很小，从而简化了后续放大电路。 （2）小的静电引力和良好的动态特性。电容传感器的极板间的引力极小，能量消耗少，其可动质量小，具有较高的固有频率和良好的动态性能。 （3）自身发热小。 （4）可以进行非接触检测。 电容式传感器广泛地应用在位移、振动、角度和加速度等机械量的精密检测，而且目前检测范围已经扩大到了压力、液面和成分等方面的检测。 图3-8 所示为差动电容式压力传感器的结构图。图中所示膜片为动电极，两个在凹形玻璃上的金属镀层为固定电极，构成差动电容器。 图3-8 差动电容式压力传感器的结构图 二、电感式传感器 1.自感型电感传感器 1）可变磁阻式传感器 可变磁阻式传感器的构造原理如图3-10所示，由线圈、铁芯和衔铁组成，铁芯和衔铁由导磁材料如硅钢片或坡莫合金制成，在铁芯和衔铁之间有气隙存在。 图3-10 可变磁阻式传感器的构造原理 图3-11列出了几种常用可变磁阻位移传感器的典型结构方案。图3-11（a）所示是可变导磁面积型，其自感L与A0呈线性关系，但和电容式传感器相类似，由于边缘效应，这种传感器的灵敏度比较低。图3-11（b）所示是差动型位移传感器结构，衔铁位移时，可以使两个线圈的间隙一个变大而另一个相应减小。将两个线圈接入相邻交流电桥桥臂，输出灵敏度将提高一倍，线性度得到改善。图3-11（c）所示是单螺线管线圈型位移传感器结构，当铁芯在线圈中移动时，磁阻改变，使得线圈自感发生改变。这种传感器结构简单，制造容易，灵敏度稍低，适合相对位移较大的检测（数个毫米）。螺线管传感器也可采用差动形式，以提高灵敏度和线性度，在实际检测传感器中经常采用。 图3-11 可变磁阻传感器的结构 2）涡流式传感器 涡流式传感器的变换原理是利用金属体在交变磁场中的涡流效应。图3-12所示为涡流传感器的工作原理。 图3-12涡流传感器工作原理 透射式涡流厚度传感器的结构原理如图3-13所示。 图3-13 电涡流测量金属板厚度 电涡流式转速传感器工作原理如图3-14所示。 图3-14 电涡流式转速传感器工作原理图 2.互感型电感传感器 实际工作中，应用较多的是螺线管式差动变压器传感器，其工作原理如图3-16所示，变压器由初级线圈和两个参数完全相同的次级线圈W1、W2组成。 图3-16 差动变压器传感器 差动变压器式位移传感器的使用具有的特点。 任务二 高精度激光位移传感器 一、图像传感器 图像传感器从功能上讲，是一个能把受光面的光像分成许多小单元（像元），并将它们转换成电信号，然后将其顺序输出的传感器件。在构造上，图像传感器是一种小型固态集成元件，它的核心是CCD。CCD由阵列排列在衬底的金属氧化物硅（MOS）电容器构成，具有光生电荷、积蓄和转移电荷的功能。 图3-24所示为一维线性图像传感器（PSD）的结构原理，光敏元阵列与CCD之间有一层转移控制栅，CCD作为移位寄存器。每个光敏元通常是一个MOS电容，并正对着CCD上的电容。在光照射下，光生少