第5节压电式传感器.pptVIP

第5章 压电式传感器;5.1 压电效应;5.1 压电效应;5.1 压电效应;一、石英晶体压电效应;一、石英晶体压电效应;一、石英晶体压电效应;当FX=0时:正、负离子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六边形顶角上，形成三个互成120o夹角的偶极矩P1、P2、P3，如图（a）所示。此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 P1＋P2＋P3＝0 ;晶体在Y轴方向力FY作用下的情况： 当FY＞0时，晶体的形变等效于X方向受压； 当FY＜0时，晶体的形变等效于X方向受拉。 所以，晶体在Y（即机械轴）方向的力FY作用下，在X方向产生正压电效应，在Y、Z方向则不产生压电效应。 ; 晶体在Z轴方向力FZ的作用下，不改变晶体对称性。电偶极矩矢量和等于零。即沿Z(即光轴)方向的力FZ作用下，晶体不产生压电效应。;式中 FX——X轴方向的压力大小； d11——压电系数，又称机电耦合系数 石英晶体d11=2.3×10-12C N-1； l、b——石英晶片的长度和宽度。 PXX在数值上等于晶面上的电荷密度，即 ;沿着机械轴的方向施加作用力，其电荷仍在与X轴垂直平面上出现，其极性见图（c）、（d），此时电荷的大小为: ;根据逆压电效应，沿X轴施加电压，晶体在X轴方向将产生伸缩，即 或用应变表示，则 式中 EX——X轴方向上的电场强度。 与此同时，在X轴方向施加电压，Y方向将产生伸缩变形，即 由上述可知： ①无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间呈线性关系； ②晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ③石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。 ;二、压电陶瓷的压电效应;通常情况下，压电陶瓷片的两个电极表观上呈不带电性，这是因为陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等，使陶瓷片内极化强度与外电场抵消，所以表观不带电。 ;当外力作用打破平衡时，压电陶瓷表面就会呈带电性。 如：在???瓷片上加一个与极化方向平行的压力F，陶瓷片将产生压缩形变（图中虚线），片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。因此，原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电荷现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状(这是一个膨胀过程)，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。这种由机械效应转变为电效应，或者由机械能转变为电能的现象，就是正压电效应。 ; 反之，若在陶瓷片上加一个与极化方向相同的电场，如图，由于电场的方向与极化强度的方向相同，所以电场的作用使极化强度增大。这时，陶瓷片内的正负束缚电荷之间距离也增大，就是说，陶瓷片沿极化方向产生伸长形变（图中虚线）。 同理，如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这种由于电效应而转变为机械效应或者由电能转变为机械能的现象，就是逆压电效应。; 最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡（BaTiO3）。它是由碳酸钡和二氧化钛按1∶1摩尔分子比例混合后烧结而成的。它的压电系数约为石英的50倍， 但居里点温度只有115℃，使用温度不超过70℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。 ;5.2 压电材料;（一）? 石英晶体 石英（SiO2）是一种具有良好压电特性的压电晶体。其介电常数和压电系数的温度稳定性相当好，在常温范围内这两个参数几乎不随温度变化。 如在20℃～200℃范围内，温度每升高1℃，压电系数仅减少0.016％。居里点为573℃，此时完全失去压电特性。 ; 石英晶体的突出优点： 性能非常稳定，机械强度高，绝缘性能也相当好。 弱点：价格昂贵，压电系数小，灵敏度低。 一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。;（二）?? 压电陶瓷 1、? 钛酸钡压电陶瓷（BaTiO3） 由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1：1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 介电常数高、压电系数大（约为石英晶体的50倍）。居里温度低（120℃），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。;4、压电半导体材料 如ZnO、CdS 、CdTe，这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可测量力和温度等参数。;5.3 测量电路;5.3 测量电路;5.3 测量电路;5.3 测量电路;(一)