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纳米科技简介 PCEG表面处理实验室 赵星之 EXT:72413 认识纳米科技—进入纳米的世界 认识纳米科技—进入纳米的世界 认识纳米科技—进入纳米的世界 认识纳米科技—进入纳米的世界 认识纳米科技—进入纳米的世界 认识纳米科技—进入纳米的世界 1965年，Intel公司创始人之一戈登·摩尔曾预言，硅芯片所集成的晶体管数目每隔18个月将翻一番。奔腾4微处理器上集成的晶体管数目竟然高达4200万个！ 最近，Intel公司宣布已研制出一种将大大延长摩尔定律寿命的新技术。利用该新技术，晶体管的体积将由原来的130纳米缩小到30纳米（0.03微米）。这不仅能够大幅提高芯片的工作频率，而且其能耗也将大大降低，所需的工作电压还不到1伏。据Intel介绍，该技术可望在2005年进入大规模实用量产阶段，届时将出现频率高达10GHz且工作电压低于目前产品的微处理器。 Intel公司的研究人员采用了超微紫外线（DUV）印刷刻蚀技术制造出了为数不多的30纳米晶体管样品。 认识纳米科技—进入纳米的世界 ST微电子、摩托罗拉和飞利浦联合台积电，力争在5年内在300毫米晶圆上将90纳米（0.09微米）制程技术降至32纳米（0.032微米）。 IBM公司微电子部门2002年6月正式宣布完成研发代号为“Cu-08”的8层布线铜制程90纳米技术，IBM也是继英特尔(Intel)、摩托罗拉(Motorola)、德州仪器(TI，Texas Instruments)、台积电(TSMC)、联电(UMC)之后第六家公布90纳米技术的公司，IBM表示现阶段该技术将主要用于其位于纽约州East Fishkill市的12吋晶圆厂。  认识纳米科技—进入纳米的世界 认识纳米科技—进入纳米的世界 认识纳米科技—进入纳米的世界 认识纳米科技—进入纳米的世界 富士康目前所专注研发的纳米模具加工技术也会在日本与深圳同步进行。 董事长郭台铭表示，鸿海未来6年将在十大核心技术领域展开布局，以协助提升鸿海在制造本业的技术为主轴，包括纳米技术、热传技术、纳米级量测技术、无线网络技术、绿色环保制程技术、CAD　CAE技术、光学镀膜技术、超精密复合纳米级加工技术、网络晶片设计技术等。 從制造的鴻海邁向科技的鴻海 ──2002年總裁新春致辭 认识纳米科技 一、纳米是什么 长度计量单位，它是英文Nanometer的中译名纳诺米特的简称，英文中的前缀Nano是十亿分之一的意思，因此，一纳米就是十亿分之一米（10-9m），记作nm。 二、纳米微粒的基本概念 颗粒尺寸为纳米量级的超细微粒。其尺度大于原子簇（Cluster），小于通常的微粒。 纳米微粒一般在1-100nm之间。 日本名古屋大学上田良二教授定义： 用电子显微镜（TEM）能看到的微粒。 认识纳米科技 基本概念 晶粒：单晶颗粒，颗粒内为单相且无晶界。 一次颗粒：指含有低气孔率的一种独立的粒子。 团聚体：由一次颗粒通过表面力或固体桥键作用形成的更大的颗粒。 二次颗粒：人为制造的粉料团聚粒子。如陶瓷工艺中所指的造粒。 纳米微粒一般指一次颗粒，结构可以为晶态、非晶态和准晶态。 颗粒尺寸：球形颗粒其尺寸为直径；不规则颗粒的尺寸定义常用等当直径，如体积等当直径、投影面积直径等。 认识纳米科技 物质是什么组成的，是一个古老而又不衰的科学命题。 认识:微观和宏观；物质认识的两个层次。 宏观：所研究的对象尺寸很大，在宏观的时间空间坐标中其下限有限，而上限无限。 下限：肉眼可见的最小物体。 上限：宏观大的物体如天体。光年计算。 微观：指原子、分子以及原子内部的原子核和电子，比原子核更小的基本粒子。 从微观到妙观:原子核内部百种以上基本粒子 从宏观到宇观:延伸到宇宙深空 认识纳米科技 微观物质同宏观物质联系的重新认识--介观：发现在0.1~100nm空间内的物质世界存在许多奇异的物理性质。 不同于原子和分子这样的微观起点，又不同于现实宏观物质领域，它正好介于微观和宏观之间，科学家们把它称之为介观物理或介观。 认识纳米科技 扫描隧道显微镜（STM)：1981年IBM公司苏黎世研究所的两位科学家，G·宾尼格和H·洛勒。基于量子隧道效应原理的新型高分率显微镜，以原子级的空间尺度来观察宏观块体物质表面上的原子和分子的几何布和状态分布，确定物体局部区域的光、电、磁、热和机械特性。 实时测量物体表面的三维空间形貌，在物体表面上刻划纳米级的微细线条，以及搬运一个个原子和分子。 直接观察和操纵单个原子和分子的愿望，提供了有力的工具。为人类进入纳米世界创造了基础性的技术条件。 1986年度的诺贝尔物理学奖。 认识纳米科技 其后1986年原子力显微镜（简称AFM）诞生，它的出现加深、拓宽了应用范围，可以综合地对物质表面的微结构（原子、分子级别）信