高度精细大型化TFT LCD光罩最新技术趋势.docVIP

近年来平面显示市场迅速扩大，全球的市场规模预估在2010年将达到3兆台币。而在平面显示中的设备发展也将受到各界的注目与关心。液晶显示面板市场从1990年代初兴起，主要的应用产品从兴起时期的笔记型电脑，扩展到90年代后半期开始的电脑荧幕，并且在2002年以后，开始朝向大型电视应用发展。目前，大型电视应用已经成为液晶显示面板的第3大应用产品，加上电视是与生活密切相关的民生产品，受到大多消费者的关心，因此大多都相信电视应用将是支撑未来液晶显示面板市场成长的最大动力之一。 就技术发展方面，液晶电视不仅仅是以37寸以下来取代CRT的角色出现，并且也积极的开发大尺寸画面来寻求更高的临场感。所以，在市场上所销售的液晶电视尺寸不仅只有40寸、50 寸等等，最大的60寸也已经开始在市场上推出，并且在各种展览会上，业者还发表了82寸和100寸的超大尺寸产品。 目前，现在快速扩大的市场正被低价格化所推动，所以在大型电视市场上为达到市场所要求的“低价格、大画面、高画质”目标，液晶显示面板业者正面临着，兼顾降低生产成本低和提升效能（高画质，广视角等）的难题，所以到底要如何才能实现提高生产效率、简化制程、提高良率、改善显示技术等等，就成为了液晶显示面板业者努力研究的方向。 ■显示面板业者期待光罩技术获得更大进步 在完成液晶显示面板中的TFT Array和彩色滤光片的生產上，不可缺少的是利用光罩的Photolithography技术来完成曝光。在面对液晶显示面板对于市场需求的效能、品量的提升上，光罩的规格和品质是具有决定性的影响。因此光罩业者也积极的期望让光罩相关技术获得更大的进步，与显示面板业者共同完成市场对于液晶显示面板的期待。 光罩是含有铬等金属薄膜的基板（Blanks）上，形成复杂Geometry的Mask，例如在半导体的曝光制程中，利用光罩以及曝光能够在硅基板上形成电路Patten。现在，随着LCD的大型化和高效能化，光罩也随着提高精细化和不断的大型化，就像在超过1平方公尺的玻璃上，对于线宽必须达到数微米的高度精确的要求。 光罩制程简单来说，是在基板（Blanks）上涂上光阻材料，利用雷射电子束设备描绘出所需的各种Geometry，并且进行显影的制程，去除掉基板（Blanks）上不需要的光阻材料，再透过蚀刻的制程，去除掉不被光阻材料覆盖的铬膜，最后再清洗残留下来的光阻材料，最后便会依照铬膜的线路，让Geometry留在玻璃基板上。 此外还必须进行检查、测量确认是否正确的形成了Geometry，并在超高精细的光罩上贴上用来防止灰尘的防护膜之后出厂。目前光罩的基板材料，较常被使用的有石英玻璃和苏打玻璃（Soda-lime）玻璃两种。苏打玻璃较常被应用在STN-LCD、TN-LCD、FED、EL等产品的生产上，而用于TFT-LCD的光罩，由于热膨胀率小，所以尺寸精度较高，并且因为需要有90％以上的良好透光率，因此则是而采用了能达到高精细程度Geometry的石英玻璃。而利用铬元素作为遮光材料的理由是，铬不但可以镀出均一的厚度，并且在蚀刻制程中还能加工出精细的线路，实现高解析度的目标，所以在目前，用来光罩的遮光材料这一方面，可以说还没有比铬更适当的材料。 ■大型化所引发的光罩技术问题 因应液晶面板的尺寸不断增加，因此大尺寸化的光罩也积极的被开发中，就像目前已经出现了可以支援第8代生产线的光罩基板。但是由于大型化制程的持续发展，因此光罩材料的成本也不断的提升，使得光罩本身的价格也高了起来，因此光罩业者生产风险也相对的提高了，并且根据客户需求的不同，以及面板精细化不断的提高情况下，目前描绘出一道光罩中Geometry的时间已经需要超过一天。 再加上，如果期望扩大应用在大型电视的液晶显示面板市场，大幅度的降低价格是迫切被需要的，因此除了面板业者日夜致力于提高生产效率，和降低制造成本之外，在光罩这一部分也被要求大幅度的降低成本。 如表一所示，由于技术的演进，液晶显示面板製造生产线是以世代来作为技术区隔，而各世代则是由开动量产的时间和玻璃基板尺寸来定义的。一般来说，是增加每片玻璃基板的取片数作为降低制造成本的方法，而母玻璃基板尺寸的扩大，便是支撑着制造生产线世代进展的动力。因此，进行玻璃基板尺寸的扩大，增加每片基板的面板生产数量，来提高生产能力，而生产能力的差异，则会被反映在面板业者的竞争力上。 最初，液晶显示面板应用产品从以20寸为主的个人电脑用途（笔记型电脑、电脑萤幕）扩展到，需要更大画面的大型电视用途，也加速了玻璃基板的大型化。表二表示了玻璃基板尺寸和电视用的液晶显示面板取片数量的关係。如果粗略分类应用的话，第1-4世代是针对笔记型电脑，第4-5世代是针对电脑显示荧幕，而第6世代以上的生产线则是为大型电视应用。 以第7世代的玻璃基板尺寸（1870×2