硅的冶炼和高多晶硅的制备.pptVIP

硅的冶炼和高纯多晶硅的制备CSI阿特斯 李本成 目 录 一、硅的冶炼－－工业硅的制备 二、高纯多晶硅的制备 一）多晶硅制备工艺的几个特点 二）高纯多晶硅的应用领域 三）高纯多晶硅的制备工艺概述 1、全球多晶硅的发展历程 2、两种工艺的比较 3、三氯氢硅氢还原法制备高纯多晶硅 目 录 3、三氯氢硅氢还原法制备高纯多晶 （1）原料准备 （2）氯化氢合成 （3）三氯氢硅合成 （4）三氯氢硅与四氯化硅的分离 （5）三氯氢硅的提纯 （6）三氯氢硅氢还原制备高纯多晶硅 （7）还原尾气的干法回收 （8）副产物四氯化硅氢化 （9）闭路循环的生产工艺 （10）综合利用和环境保护 （11）多晶硅生产中的理化检测 （12）其它 一、硅的冶炼－工业硅的制备 硅是地球上丰度最高的元素之一，其丰度达到25.7%,仅次于氧而居第二位，它多以SiO2的形式存在，我们较熟悉的砂子、石头、